本发明涉及一种基于CELL的边缘缺陷检测方法,包括:收集历史检测CELL产品累积的数据样本,得到数据标注样本;将数据标注样本输入深度卷积神经网络中进行模型训练,训练出一个稳定收敛的分割模型;捕捉待测CELL产品的产品图像,通过分割模型分割出产品图像中的缺陷坐标位置和mark坐标位置,将缺陷坐标位置输出;调取待测CELL产品的产品图像,将有限个边缘点进行直线拟合,分别得到水平拟合线和垂直拟合线;根据mark坐标位置,分别对拟合出来的水平拟合线和垂直拟合线进行间距测量,得到间距参数输出。本发明建立了分割模型,能够对输入的产品图像中的缺陷进行分割,能够同步对CELL产品的缺陷以及边距进行测量,提升检测效率,缺陷和边距检测精度高。