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最新技术
基于磁控溅射与超声滚压复合强化轴承套圈表面的方法
本发明涉及一种基于磁控溅射与超声滚压复合强化轴承套圈表面的方法,该方法先制备打底层,接着利用磁控溅射技术溅射所需的主体涂层,最后用超声波滚压技术进行轴承套圈表面强化,从而制得单层涂层。之后,在单层涂层表面继续进行磁控溅射所需涂层,在超声设备上再次超声滚压,制得多层涂层。本发明充分发挥了磁控溅射和超声波滚压这两种方法的优势,使轴承套圈表面产生剧烈的微观塑性变形,使得薄膜涂层与基体之间的结合强度有效提高,改善了磁控溅射后涂层结合力弱的缺点,并且涂层的均匀性和致密性显著增强。
一种旋转镜像靶磁控溅射设备
本发明提供一种旋转镜像靶磁控溅射设备,其大幅提升材料利用率,同时可以实现低温镀膜,扩大了衬底材料的范围。其包括:基材运输装置、磁控镀膜结构,其特征在于:所述磁控镀膜结构包括:两个具备独立磁性器件的旋转靶柱,两个所述磁性器件生成的磁场结构设置为镜像对称;所述旋转靶柱设置于所述基材运输装置上的镀膜面一侧,所述旋转靶柱的柱轴线与衬底材料在所述基材运输装置上的行进方向垂直,两个所述柱轴线彼此平行,且距离所述镀膜面距离相等;两个所述旋转靶柱之间的小于等于两个所述旋转靶柱的磁场形成的高能等离子拘束区域;两个所述旋转靶柱与所述镀膜面的距离,小于等于所述旋转靶柱形成的溅射粒子的自由程。
陶瓷基复合材料用耐高温、抗水氧低红外发射率复合薄膜及制备方法
本发明涉及一种陶瓷基复合材料用耐高温、抗水氧低红外发射率复合薄膜及制备方法,陶瓷基复合材料用耐高温、抗水氧低红外发射率复合薄膜,为单层复相结构,使用时覆于目标物体表面即可。所述薄膜为连续成膜的高温导电复合薄膜,主要组分含两种,以高导电金属材料作为低红外发射率组分,以陶瓷基复合材料用环境屏障涂层材料作为保护组分。经工艺优选后,该复合薄膜可实现1000℃高温空气环境下使用2h后,2-22μm的发射率小于0.1,兼具低发射率、耐高温、抗水氧等优异性能,且其制备工艺简单,操作简易。
渐变色薄膜及其制备方法与应用
本申请涉及镀膜技术领域,提供了一种渐变色薄膜,所述渐变色薄膜包括基底,在所述基底的表面层叠结合渐变镀膜复合层,其中,所述渐变镀膜复合层具有梯度厚度。得到的渐变镀膜复合层为厚度不均一的膜层,根据光学干涉,得到渐变的颜色,故形成的产品为渐变色薄膜,性能稳定,能够广泛应用。
旋转阴极组件和涂覆系统
本申请提供了一种旋转阴极组件和包括旋转阴极组件的涂覆系统。该旋转阴极组件包含:阴极,所述阴极具有管状形状并且限定了中空中心部;包围所述阴极的屏蔽件,所述屏蔽件限定了暴露所述阴极的一部分的进入开口;以及旋转磁体子组件,所述旋转磁体子组件布置在所述阴极的中空中心部内。所述旋转磁体子组件包含具有第一磁场强度的第一磁性部件以及具有第二磁场强度的第二磁性部件。所述第一磁场强度大于所述第二磁场强度。特征在于,所述第一磁体部件和所述第二磁性部件能够在第一位置与第二位置之间旋转,在所述第一位置,所述第一磁性部件面向所述进入开口,在所述第二位置,所述第二磁性部件面向所述进入开口。
新型阴极靶及旋转进气方法
所述的一种新型阴极靶及旋转进气方法,包括空心进气阴极和可移动磁体,其特征在于:阴极靶(101)的中间设有旋转进气口(104),在固定法兰(102)的圆形套筒(106)上也设有旋转进气孔(103),这种旋转进气设计有利于弧根的旋转,也有利于产生更辉光的等离子体电弧状态;在阴极靶(101)背面设有径向磁体,在靶外侧设有可以前后可移动的磁体,该移动磁体同样可用来调控等离子体电弧的辉光状态,实现靶材的均匀刻蚀,从而使镀膜工件表面得到更光洁、致密的高质量镀膜膜层。
一种阴极电弧涂层靶材装置
本发明公开了一种阴极电弧涂层靶材装置,依次互相贴合设置有导电组件、第一绝缘组件、靶材板框、绝缘板、冷却板、导热板和涂层靶材;导电组件与冷却板之间设有电连接组件,导电组件连接外部电极,并通过电连接组件、冷却板和导热板与涂层靶材电连接;导电组件和冷却板分别通过第一绝缘组件和绝缘板与靶材板框绝缘;冷却板、导热板和涂层靶材的周侧设有用于与靶材板框绝缘的第二绝缘组件;冷却板靠近导热板的一表面上设有流槽,流槽与导热板之间形成流体通道,靶材板框和冷却板上设有连通外部和流体通道的进液通道和出液通道;该靶材装置具有靶材利用率高、涂层沉积效率高、冷却效果好、涂层成分均匀及涂层色泽度好的特点。
一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置
本发明涉及一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置,包括敲击杆,敲击杆的一端装配有用于引弧的触发头,敲击杆的另一端装配在转动杆的一端,敲击杆和转动杆呈夹角状布置,转动杆通过轴承座转动安装在敲击安装座上,敲击安装座上设置有用于调节转动杆进行转动的转动调节组件。本发明提供的方案,可有效解决敲击杆在敲击过程中松动、敲击不到位和粘靶的问题,且触发头不易脱落,避免触发头过快损耗,降低故障率,有效保证镀膜的稳定进行。
高硬高耐磨掺银类金刚石红外增透膜的制备方法
本发明公开了一种高硬高耐磨掺银类金刚石红外增透膜材料的制备方法。所述方法以石墨为成膜材料,将银棒插入石墨靶材横截面中,采用真空阴极弧等离子蒸发技术,使石墨和银同时蒸发,在磁场的作用下沉积在目标基底表面,在目标基底表面均匀掺杂纳米银。本发明方法制得的高硬高耐磨掺银类金刚石红外增透膜具有优良的红外透过性,化学稳定性和耐磨性能。
一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法
本发明提出了一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法,通过填充沙能够使得热量传递更快,温度控制更精确迅速,并且结构设计为可移动,利于在不同真空腔的使用兼容性及普遍性。本申请的可移动温控沙浴束源炉通过填充沙实现采用沙浴加热方式加热,使热量传递方式从单一的热辐射传递变为热传导和热辐射两种热传递方式,使热量传递更快,温度控制更精确迅速;同时,本申请的可移动温控沙浴束源炉结构简单,可移动的特点利于调节束源炉在真空蒸镀腔里的位置以及相对于样品的位置,也利于束源炉对不同构造的真空蒸镀腔的广泛兼容性。