本申请提供的用于CMM系统的控制方法,若干个所述激光干涉仪出射的激光汇交于所述探头处,建立所述探头的位移与所述激光干涉仪之间的联系,分析被测物体的面形特点,并通过三坐标探头打点得到相应的干涉仪位移,从而得到特征面上的特征点,并通过最小二乘法拟合的方式进行特征拟合采用最小插值的方法,生成特征面上的点集,并将该点集作为自动打点的采样点,根据所述采样点完成对被测物体平面的打点工作,将带数据进行zernike多项式拟合,得到拟合的波面,进而得到PV与RMS值,完成对面形的分析,本申请提供的用于CMM系统的控制方法,有效地分析并确定纳米级别的被测物体的面形。