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为企业、科研机构提供技术创新支撑服务2022-09-09

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一种过渡族金属化合物析氢薄膜及射频反溅改性制备方法: 本发明涉及电催化析氢技术领域,具体涉及一种过渡族金属化合物析氢薄膜,包括基底层和析氢催化层,所述析氢催化层设置在所述基底层的表面,所述析氢催化层为过渡族金属硫化合物、过渡族金属硒化合物和过渡族金属碲化合物中的一种所形成的薄膜,通过射频反溅产生的被离化的Ar等离子体随机辐照样品产生刻蚀效果,形成整个析氢薄膜平面内的随机刻蚀,使得析氢薄膜的催化活性得到显著提高。

近红外/pH双响应的载碘钛合金植入物及其制备方法: 本发明公开了一种近红外/pH双响应的兼具抗菌、促成骨分化的载碘钛合金植入物体系及其制备方法,该体系是通过水热反应在钛合金表面微弧氧化形成的多孔结构上形成纳米颗粒涂层,利用该纳米材料本身对于碘元素超强的吸附能力,采用气相沉积的方法,实现涂层成功载碘。本发明制得的表面涂层钛片在弱酸性及近红外光的激发下能表现出良好的抗菌性能,同时在正常生理状态下能够促进骨髓间充质干细胞成骨分化。本发明制备的碘涂层具备稳定好、可控释放的优势,有效改善目前金属表面碘改性的稳定性不足的问题。

一种Zr-B-O-N薄膜、Cu互连结构及其制备方法: 本发明提供一种Zr-B-O-N薄膜、Cu互连体及其制备方法,以ZrB-2复合靶为靶材,在N-2和Ar混合气氛下进行反应磁控溅射,在基底上沉积得到Zr-B-O-N薄膜在所述的Zr-B-O-N薄膜上沉积Cu层得到Cu互连结构。本发明得到的Zr-B-O-N薄膜为非晶结构,具有扩散阻挡性能,能解决Cu互连结构中Cu扩散的问题。

基于磁控溅射与超声滚压复合强化轴承套圈表面的方法: 本发明涉及一种基于磁控溅射与超声滚压复合强化轴承套圈表面的方法,该方法先制备打底层,接着利用磁控溅射技术溅射所需的主体涂层,最后用超声波滚压技术进行轴承套圈表面强化,从而制得单层涂层。之后,在单层涂层表面继续进行磁控溅射所需涂层,在超声设备上再次超声滚压,制得多层涂层。本发明充分发挥了磁控溅射和超声波滚压这两种方法的优势,使轴承套圈表面产生剧烈的微观塑性变形,使得薄膜涂层与基体之间的结合强度有效提高,改善了磁控溅射后涂层结合力弱的缺点,并且涂层的均匀性和致密性显著增强。

高硬高耐磨掺银类金刚石红外增透膜的制备方法: 本发明公开了一种高硬高耐磨掺银类金刚石红外增透膜材料的制备方法。所述方法以石墨为成膜材料,将银棒插入石墨靶材横截面中,采用真空阴极弧等离子蒸发技术,使石墨和银同时蒸发,在磁场的作用下沉积在目标基底表面,在目标基底表面均匀掺杂纳米银。本发明方法制得的高硬高耐磨掺银类金刚石红外增透膜具有优良的红外透过性,化学稳定性和耐磨性能。

用于汽轮机叶片的耐固体颗粒侵蚀的纳米晶多层硬质薄膜及其制备方法: 本发明公开了一种用于汽轮机叶片的耐固体颗粒侵蚀的纳米晶多层硬质薄膜及其制备方法。薄膜包括依次沉积于汽轮机叶片表面的Cr底层、TiAl过渡层、TiAlN过渡层及TiAlCrCN耐固体颗粒侵蚀薄膜层,TiAlCrCN耐固体颗粒侵蚀薄膜层为面心立方结构的纳米晶(Ti,Al)(C,N)和Cr-2N的两相复合结构,前者为主要相。制备方法如下：清洗汽轮机叶片表面,再将其放到真空腔室内旋转装置上旋转,并进行等离子体清洗,再在汽轮机叶片表面采用多弧离子镀物理气相沉积法依次沉积Cr底层、TiAl过渡层、TiAlN过渡层及TiAlCrCN耐固体颗粒侵蚀薄膜层,完成汽轮机叶片耐固体颗粒侵蚀纳米晶多层硬质薄膜的制备。

一种强韧化CrTiNiSiN纳米复合涂层制备方法: 本发明公开了一种强韧化CrTiNiSiN纳米复合涂层制备方法,包括以下步骤：1)对基材进行镜面抛光和超声清洗；2)将Ti靶和Cr靶分别安装在直流靶上,Si靶和CrNi靶安装在射频靶上,将基材装夹在样品台上,关闭密封盖,改变沉积腔真空度,运用氩离子轰击基材表面进行清洗除污；3)沉积过渡Cr层；4)沉积CrN涂层；5)沉积CrTiNiSiN涂层。实现层间相的稳定过渡,有效提高层间界面质量和结合力；断面形成硬度逐渐增加的梯度,有效提高复合涂层整体的抗载能力；通过优化制备工艺,在实现增韧的前提下有效保证硬度值。

一种超硬质多层纳米复合涂层制备方法: 本发明公开了一种超硬质多层纳米复合涂层制备方法,包括以下步骤：1)对基材进行镜面抛光和超声清洗；2)运用氩离子刻蚀清洗基材表面；3)沉积过渡Cr层；4)沉积CrN层；5)沉积CrTiSiN层。所述步骤1)对基材进行镜面抛光和超声清洗,具体为,基材在金相抛光机上进行镜面抛光,先用w20金刚石粉配合粗抛帆布进行粗抛,然后用w2.5金刚石粉配合精抛绒布进行精抛,基材精抛清洗干净后,在酒精溶液中进行超声清洗20～30分钟。处于较低的Si含量范围,更容易获得超硬硬度值；将涂层与Al-2O-3球进行摩擦实验,显示具有较低的磨损率,减少能量的损耗；进行纳米压痕,未出现缺陷,具有良好的韧性。

一种改善Cu基体与碳基薄膜结合力的方法: 本发明公开一种提高Cu基体与碳基薄膜结合力的方法。该方法是通过以下步骤实现的：采用双辉渗金属技术在覆有模板的Cu基体表面制备亲碳金属过渡层骨架,去除模板后采用该技术对基体及骨架表面进行高密度Ar～+轰击刻蚀处理,提高碳原子的成核密度,最后通过溅射镀膜或等离子化学气相沉积法在图形化的基体上沉积碳基薄膜,提高碳基薄膜与Cu基体的结合力。该方法具有过程简单、可控性好、绿色环保等优点。

一种碲化锌掺锌平面靶材及其制备方法: 本发明提供了一种碲化锌掺锌平面靶材的制备方法,包括：S1)混料：将碲化锌粉体、锌单质粉体与碲单质粉体混合,得到混合物料；S2)烧结：将所述混合物料加热烧结,得到烧结物料；S3)球磨：将所述烧结物料进行球磨,得到球磨物料；S4)预压：将所述球磨物料进行预压,得到成型坯体；S5)热压：将所述成型坯体进行真空热压烧结,得到碲化锌掺锌平面靶材。与现有技术相比,本发明在碲化锌中掺锌以及掺碲可以使原本的碲化锌靶材的导电性得到改善,使制得的靶材纯度和密度均较高且可以提高靶材溅射的电导率,并且该制备方法工艺简单,对设备要求较低,成本较低,可批量生产。

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