本发明提供了一种三维侧扫声呐成阵列方法及设备。所述方法包括:根据接收时长差,将接收阵列的信号分割为若干距离快拍,对每个距离快拍进行常规波束形成,生成基于信号强度的灰度图像;根据信号强度设置每个距离快拍的范围,并根据声呐接收阵列偏航和俯仰方向的阵元数量和阵元间距,以及偏航角和俯仰角,设置二维卷积核;设置迭代次数并进入一距离快拍,进行Richardson-Lucy反卷积算法迭代运算,若达到最大迭代次数,则将Richardson-Lucy反卷积算法迭代运算的结果作为所述一距离快拍的输出。本发明可以实时对水声图像进行超分辨率成像,在声呐的阵元数量和阵元间距受限的前提下,完成对水下物体的高精度测绘。