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一种带有主动式振动衰减结构的无液氦低温制冷系统
本发明属于低温制冷设备技术领域,具体为一种带有主动式振动衰减结构的无液氦低温制冷系统。本发明制冷系统包括闭循环制冷机、主动式振动衰减系统、低温运行设备、低温屏蔽罩和真空腔体;主动式振动衰减系统包括固定支架、振动传感器、主动式振动衰减器和振动衰减系统控制器;主动式振动衰减器、振动传感器均与振动衰减系统控制器电连接;闭循环制冷机的制冷头伸入制冷隔振界面内,制冷头和制冷隔振界面间填充氦气,闭循环制冷机与制冷隔振界面的之间通过密封波纹管连接密封;低温运行设备放置在真空腔体内并与制冷隔振界面的低温端连接。本发明有效降低振动对低温设备运行的影响,大大提高低温设备的运行精度,且成本低,占地面积小。

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