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最新技术
近红外/pH双响应的载碘钛合金植入物及其制备方法
本发明公开了一种近红外/pH双响应的兼具抗菌、促成骨分化的载碘钛合金植入物体系及其制备方法,该体系是通过水热反应在钛合金表面微弧氧化形成的多孔结构上形成纳米颗粒涂层,利用该纳米材料本身对于碘元素超强的吸附能力,采用气相沉积的方法,实现涂层成功载碘。本发明制得的表面涂层钛片在弱酸性及近红外光的激发下能表现出良好的抗菌性能,同时在正常生理状态下能够促进骨髓间充质干细胞成骨分化。本发明制备的碘涂层具备稳定好、可控释放的优势,有效改善目前金属表面碘改性的稳定性不足的问题。
一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法
本发明提出了一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法,通过填充沙能够使得热量传递更快,温度控制更精确迅速,并且结构设计为可移动,利于在不同真空腔的使用兼容性及普遍性。本申请的可移动温控沙浴束源炉通过填充沙实现采用沙浴加热方式加热,使热量传递方式从单一的热辐射传递变为热传导和热辐射两种热传递方式,使热量传递更快,温度控制更精确迅速;同时,本申请的可移动温控沙浴束源炉结构简单,可移动的特点利于调节束源炉在真空蒸镀腔里的位置以及相对于样品的位置,也利于束源炉对不同构造的真空蒸镀腔的广泛兼容性。
蒸镀装置
本申请涉及蒸镀技术领域,尤其涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括坩埚和盖板,所述坩埚的内部具有多个用于收容蒸镀材料的收容槽,相邻两个所述收容槽之间设置有加热槽,所述加热槽设置于所述坩埚的外部,所述收容槽的外表面和所述加热槽均设置有加热件;盖板,所述盖板盖设于所述坩埚上,所述盖板设置有多个用于喷出蒸镀材料的蒸发口部。本申请提供的蒸镀装置通过在坩埚的外部设置加热槽,加热槽设置于相邻两个收容槽之间,且收容槽的外表面和加热槽均设置有加热件,如此可以提高每个收容槽内蒸镀材料的加热效率,从而可以提高蒸镀效率和蒸镀质量。
蒸镀装置
本申请涉及蒸镀技术领域,尤其涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括坩埚和盖板,盖板沿其径向由内向外依次设置有第一区域、第二区域和第三区域;第一区域设置有与盖板同圆心设置的第一蒸发口部;第二区域设置有至少三圈等间距分布的多个第二蒸发口部,每圈中的第二蒸发口部的圆心到盖板的圆心的距离相等,每圈中的相邻两个第二蒸发口部的间距相等,相邻两圈的第二蒸发口部的圆心到盖板的圆心的连线不重合;第三区域设置有至少一圈等间距分布的多个第三蒸发口部,每圈中的第三蒸发口部的圆心到盖板的圆心的距离相等,每圈中的相邻两个第三蒸发口部的间距相等。本申请提供的蒸镀装置有效地减小蒸镀的阴影区域,并提高蒸镀材料成型厚度的均匀性。
掩模板结构及掩模板结构的制备方法
本申请实施例提供一种掩模板结构及掩模板结构的制备方法,通过针对对位掩模条设计异形对位部,可以使得实际对位部与张网部分形成高度差,避免对位部与待蒸镀基板进行接触而导致蒸镀对位部分不稳定,并且掩模板框架上的对位凹槽与对位部一一对应,无需针对整个对位掩模条进行整面开槽,因此开槽面积更小,从而可以提升掩模板框架的机械强度。此外,通过将异形对位部与支撑部进行连接,支撑部与掩模板框架表面形成支撑,可以保证张网过程中对位掩模条能够正常受力。
掩膜组件及其制作方法
本发明涉及一种掩膜组件及其制作方法,掩膜组件包括:掩膜框架;以及掩膜网面,掩膜网面通过多个连接点连接于掩膜框架;其中,掩膜网面包括:网面本体,具有位于网面本体的中心位置的蒸镀区域及围绕蒸镀区域设置的连接区域,网面本体通过连接区域与掩膜框架连接;多个阻挡部,位于连接区域内,多个阻挡部彼此间隔地布设于网面本体的一侧,且阻挡部具有用于容纳连接点的阻挡槽。上述掩膜组件,连接网面本体和掩膜框架的连接点位于阻挡部形成的阻挡槽内,布设于网面本体的阻挡部显著增加了连接点周围的受力面积,从而减小了单位面积所受到的拉力值,进而增加了连接点处产生的裂纹的爬坡难度,延长了掩膜组件的使用寿命。
金属掩模用基材及其制造方法、蒸镀用金属掩模及其制造方法
本发明涉及金属掩模用基材的制造方法、蒸镀用金属掩模的制造方法、金属掩模用基材及蒸镀用金属掩模。在具备表面以及与表面相反侧的面即背面的金属轧制片中,表面及背面的至少一方为处理对象。金属掩模用基材的制造方法为,通过用酸性蚀刻液将处理对象蚀刻3μm以上来使金属轧制片所具有的厚度变薄到10μm以下,并且,将处理对象粗糙化为具有0.2μm以上的表面粗糙度Rz的抗蚀剂用处理面,得到金属制的金属掩模用片。
遮罩
一种遮罩,包括第一表面以及与第一表面相对的第二表面,且遮罩具有全蚀区、半蚀区以及周边区,半蚀区连接全蚀区与周边区,遮罩于全蚀区具有多个贯孔,各贯孔连通第一表面及第二表面,半蚀区具有多个第一半蚀槽,各第一半蚀槽自第一表面凹入。在第一半蚀槽中,最靠近全蚀区的第一半蚀槽的深度大于最靠近周边区的第一半蚀槽的深度。遮罩可避免拉伸应力于全蚀区产生应力不均的问题,从而降低遮罩在张开拉平时的皱褶起伏程度,达到改善遮罩皱褶的优点。