具体实施方式

以下结合附图及实施例，对本申请进行详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

在本申请实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”、“第二”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；除非另有规定或说明，术语“多个”是指两个或两个以上；术语“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，或电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

本说明书的描述中，需要理解的是，本申请实施例所描述的“上”、“下”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本申请实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。

如图1和图2所示，其分别为本申请实施例提供的蒸镀装置的正视图和俯视图。该蒸镀装置包括坩埚1和盖板2，其中：

坩埚1用于收容蒸镀材料，坩埚1的顶部开口沿水平方向X的截面为圆形；盖板2盖设于坩埚1的顶部开口上，盖板2沿水平方向X的截面为圆形，盖板2沿其径向且由内向外依次设置有第一区域21、第二区域22和第三区域23；第一区域21设置有与盖板2同圆心设置的第一蒸发口部211；第二区域22设置有至少三圈等间距分布的多个第二蒸发口部221，每圈中的第二蒸发口部221的圆心到盖板2的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第二蒸发口部221的间距相等，相邻两圈的第二蒸发口部221的圆心到盖板2的圆心的连线不重合；第三区域23设置有至少一圈等间距分布的多个第三蒸发口部231，每圈中的第三蒸发口部231的圆心到盖板2的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第三蒸发口部231的间距相等。如此设置，一方面减小了阴影区域的出现，另一方面提高蒸镀材料成型厚度的均匀性。

在一些实施方式中，盖板2还包括位于第三区域23外侧的第四区域24，第四区域24设置有至少一圈等间距分布的多个第四蒸发口部241，每圈中的第四蒸发口部241的圆心到盖板2的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第四蒸发口部241的间距相等；第四蒸发口部241的直径小于三蒸发口部的直径的一半，每圈中的相邻两个第四蒸发口部241的间距小于每圈中的相邻两个第三蒸发口部231的间距的一半。如此设置，以便于蒸镀材料通过掩膜20后在基材10上形成具有均匀厚度的有机膜，即蒸镀材料可以为有机材料。

在一些实施方式中，第一蒸发口部211位于盖板2的中轴线且与盖板2垂直，第二蒸发口部221朝向盖板2的中轴线倾斜设置，第三蒸发口部231和第四蒸发口部241均远离盖板2的中轴线倾斜设置。如此设置，以使在基材10上蒸镀的有机材料的成型厚度更加均匀，且同时能够减小阴影区域的出现。

请参阅图4和图5，第二蒸发口部221的出口截面与水平方向X具有第一夹角a，第三蒸发口部231和第四蒸发口部241的出口截面与水平方向X具有第二夹角b。在一些实现方案中，第一夹角a为30-50度，第二夹角b为40-60度。如此设置，以使在基材10上蒸镀的有机材料的成型厚度进一步均匀，且同时能够减小阴影区域的出现。

在另一些实施方式中，如图6和图7所示，第一蒸发口部211位于盖板2的中轴线且与盖板2垂直，第二蒸发口部221、第三蒸发口部231和第四蒸发口部241均与盖板2垂直。此种方式也能使在基材10上蒸镀的有机材料的成型厚度更加均匀，且同时能够减小阴影区域的出现。但是，该实施方式的效果相比图4和图5所示实施方式的效果稍差一些。

请继续参阅图6，第二蒸发口部221、第三蒸发口部231和第四蒸发口部241的出口截面与水平方向X具有夹角。如此设置，以使在基材10上蒸镀的有机材料的成型厚度进一步均匀，且同时能够减小阴影区域的出现。当然，第二蒸发口部221、第三蒸发口部231和第四蒸发口部241的出口截面也可以与水平方向X平行。

在一些实施方式中，第一蒸发口部211的内径沿蒸镀材料喷出的方向(可参见图3中箭头方向)逐渐增大。如此设置，可以提高基材10中心处蒸镀材料成型厚度的均匀性。

在一些实施方式中，第二蒸发口部221和第三蒸发口部231的内径沿蒸镀材料喷出的方向(可参见图4和图5中箭头方向)逐渐减小。如此设置，以减小相邻的第二蒸发口部221和第三蒸发口部231喷出的蒸镀材料相互影响，从而可以使基材10上的有机膜的成型厚度更加均匀。此外，第四蒸发口部241的内径也可以设置为沿蒸镀材料喷出的方向逐渐增大，如此也能减小相邻的第二蒸发口部221和第四蒸发口部241喷出的蒸镀材料相互影响，从而可以使基材10上的有机膜的成型厚度更加均匀。

在一些实施方式中，请继续参阅图2，坩埚1的顶部设置有定位槽11，盖板2设置有定位凸起25，盖板2通过定位凸起25与定位槽11的配合与坩埚1固定，如此可以增加盖板2固定的稳定性，同时也能提高盖板2易拆卸的效果。

综上，本申请实施例提供的蒸镀装置通过在第一区域21设置有与盖板2同圆心设置的第一蒸发口部211；第二区域22设置有至少三圈等间距分布的多个第二蒸发口部221，每圈中的第二蒸发口部221的圆心到盖板2的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第二蒸发口部221的间距相等，相邻两圈的第二蒸发口部221的圆心到盖板2的圆心的连线不重合；第三区域23设置有至少一圈等间距分布的多个第三蒸发口部231，每圈中的第三蒸发口部231的圆心到盖板2的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第三蒸发口部231的间距相等。如此设置，一方面减小了阴影区域的出现，另一方面提高蒸镀材料成型厚度的均匀性。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请保护的范围之内。