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最新技术
一种镀膜厚度光学控制装置和方法
本发明涉及一种镀膜厚度光学控制装置和方法,所述的装置包括一个及以上不同波长的激光器、用于不同波长激光分束和合束的分光光学元件、散射板、驱动电机、透镜、多模光纤、光功率计、光控测试片、以及镀膜夹具。激光经过受驱动电机驱动而旋转的散射板转化为准相干光,准相干光经透镜聚焦进入多模光纤,传输至镀膜机,并经透镜准直后入射至光控测试片,透射光经透镜聚焦后进入第二多模光纤,在光纤出口经准直和分光,利用光功率计分别测量不同波长的出射光的功率,监控光控测试片上不同波长光的透射率,实现镀膜厚度的控制。薄膜厚度光学控制装置具有结构简单,安装方便,监控光源线宽窄的特征,可实现高精度光学薄膜镀膜过程的厚度控制。
一种镀膜设备靶位的功率调整方法、装置、控制器及存储介质
本发明实施例公开了一种镀膜设备靶位的功率调整方法、装置、控制器及存储介质,涉及低辐射镀膜玻璃制造技术领域。所述镀膜设备靶位的功率调整方法:包括实时获取玻璃距靶位的距离;判断玻璃距靶位的距离是否小于预设的距离阈值;若玻璃距靶位的距离小于预设的距离阈值,控制靶位的功率为预设的第一功率值;若玻璃距靶位的距离不小于预设的距离阈值,控制靶位的功率为预设的第二功率值;其中,第二功率值小于第一功率值。本发明能够避免能量浪费,更节能;进一步地,无需人工调整,节省人力;进一步地,功率调整控制精准,产品质量好。
一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法
本发明提出了一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法,通过填充沙能够使得热量传递更快,温度控制更精确迅速,并且结构设计为可移动,利于在不同真空腔的使用兼容性及普遍性。本申请的可移动温控沙浴束源炉通过填充沙实现采用沙浴加热方式加热,使热量传递方式从单一的热辐射传递变为热传导和热辐射两种热传递方式,使热量传递更快,温度控制更精确迅速;同时,本申请的可移动温控沙浴束源炉结构简单,可移动的特点利于调节束源炉在真空蒸镀腔里的位置以及相对于样品的位置,也利于束源炉对不同构造的真空蒸镀腔的广泛兼容性。