百科技术库 各行业技术资料 - 百科资料网
欢迎来到百科技术库 各行业技术资料 - 百科资料网! [免费注册] | [登录] 微信快捷登录 QQ登录 微博登录 | 帮助中心 各行业技术应有尽有!
全国服务热线 13310018778

栏目导航

最新技术
一种Zr-B-O-N薄膜、Cu互连结构及其制备方法
本发明提供一种Zr-B-O-N薄膜、Cu互连体及其制备方法,以ZrB-2复合靶为靶材,在N-2和Ar混合气氛下进行反应磁控溅射,在基底上沉积得到Zr-B-O-N薄膜在所述的Zr-B-O-N薄膜上沉积Cu层得到Cu互连结构。本发明得到的Zr-B-O-N薄膜为非晶结构,具有扩散阻挡性能,能解决Cu互连结构中Cu扩散的问题。