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最新技术
一种微机械加速度计及其校准补偿方法
本发明公开了一种微机械加速度计及其校准补偿方法,属于加速度测量技术领域。可通过双边平行板式梳齿电容上施加偏置调谐电压的方式调节加速度计等效刚度,由于该梳齿电容静电刚度随位移变化,该加速度计也可工作在位置闭环状态。闭环参考位置校准是在调谐电压上引入一个带宽外校准信号,对位移等效电压进行解调滤波,得到位移扰动量,基于此通过反馈环路对参考位置进行补偿,直至位移扰动量降为零;等效刚度校准是在闭环参考位置上加入一个带宽内校准信号,对力平衡反馈控制信号进行解调滤波,得出表征加速度计等效刚度的电压信号,基于此建立刚度补偿闭环可维持加速度计等效刚度恒定不变。本发明有助于检测和抑制加速度计输出漂移。
一种磁性微纳米机器人及其制备方法和应用
本发明提供一种磁性微纳米机器人及其制备方法和应用。所述制备方法包括如下步骤:在第一基片上形成电子束光刻胶层,经曝光和显影后将掩模板上的图案转移到所述光刻胶层上,得到第一微纳米机器人硬模板;用软质倒模材料对得到的第一微纳米机器人硬模板进行倒模,得到微纳米机器人软模板;在第二基片上形成硬质胶层,然后采用纳米压印的方法将所述微纳米机器人软模板上的图形转移到所述硬质胶层上,得到第二微纳米机器人硬模板;在第二微纳米机器人硬模板上形成磁性材料层和生物相容材料层,超声,得到磁性微纳米机器人。相比于现有的激光直写方法,本发明的制备方法成本更低,制备效率更高,且软模版可以多次重复利用,可大批量制备微纳米机器人。
惯性传感器及其制备方法
本申请提供了一种惯性传感器及其制备方法,解决了现有技术中批量生产的惯性传感器的性能均一性较差和电互联难度高的问题。其中,惯性传感器的制备方法包括:提供第一基板,第一基板包括第一导电层;提供第二基板,第二基板包括第一衬底,第一衬底的材料为单晶材料;将第一导电层和第一衬底结合在一起,形成结合界面;形成可动元件,可动元件包括至少部分第一衬底。
一种多量程集成的复合膜片式MEMS压力传感器
本发明提出了一种多量程集成的复合膜片式MEMS压力传感器,通过在一个传感器中集成化多个不同量程的模块,实现了对不同量程、不同尺寸的物件的适应性测量,同时提高了测量的一致性。
一种自散热芯片及其测温装置和方法
本发明公开了一种自散热芯片及其测温装置和方法。基于分形理论设计芯片的微结构,在不增加额外散热装置的同时,提高芯片的自散热效率。应用全息干涉技术,建立包括激光器、光学镜片、CCD相机、计算机及传动机构的芯片测温装置,对芯片进行测温,实时精确测量芯片温度。使用伺服电机驱动传动机构,带动楔形板翻转,从而改变测量激光器发出的激光光束照射在芯片上的位置,通过CCD相机采集芯片表面变化的干涉条纹,再传输给计算机进行处理,得到芯片表面温度的分布情况。