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一种自散热芯片及其测温装置和方法
本发明公开了一种自散热芯片及其测温装置和方法。基于分形理论设计芯片的微结构,在不增加额外散热装置的同时,提高芯片的自散热效率。应用全息干涉技术,建立包括激光器、光学镜片、CCD相机、计算机及传动机构的芯片测温装置,对芯片进行测温,实时精确测量芯片温度。使用伺服电机驱动传动机构,带动楔形板翻转,从而改变测量激光器发出的激光光束照射在芯片上的位置,通过CCD相机采集芯片表面变化的干涉条纹,再传输给计算机进行处理,得到芯片表面温度的分布情况。