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一种微机械加速度计及其校准补偿方法
本发明公开了一种微机械加速度计及其校准补偿方法,属于加速度测量技术领域。可通过双边平行板式梳齿电容上施加偏置调谐电压的方式调节加速度计等效刚度,由于该梳齿电容静电刚度随位移变化,该加速度计也可工作在位置闭环状态。闭环参考位置校准是在调谐电压上引入一个带宽外校准信号,对位移等效电压进行解调滤波,得到位移扰动量,基于此通过反馈环路对参考位置进行补偿,直至位移扰动量降为零;等效刚度校准是在闭环参考位置上加入一个带宽内校准信号,对力平衡反馈控制信号进行解调滤波,得出表征加速度计等效刚度的电压信号,基于此建立刚度补偿闭环可维持加速度计等效刚度恒定不变。本发明有助于检测和抑制加速度计输出漂移。
一种多量程集成的复合膜片式MEMS压力传感器
本发明提出了一种多量程集成的复合膜片式MEMS压力传感器,通过在一个传感器中集成化多个不同量程的模块,实现了对不同量程、不同尺寸的物件的适应性测量,同时提高了测量的一致性。
一种自散热芯片及其测温装置和方法
本发明公开了一种自散热芯片及其测温装置和方法。基于分形理论设计芯片的微结构,在不增加额外散热装置的同时,提高芯片的自散热效率。应用全息干涉技术,建立包括激光器、光学镜片、CCD相机、计算机及传动机构的芯片测温装置,对芯片进行测温,实时精确测量芯片温度。使用伺服电机驱动传动机构,带动楔形板翻转,从而改变测量激光器发出的激光光束照射在芯片上的位置,通过CCD相机采集芯片表面变化的干涉条纹,再传输给计算机进行处理,得到芯片表面温度的分布情况。