本发明提供了一种用于精密加工的误差传感补偿方法,包括如下步骤:S1:控制单元接收加工指令并输出第一控制命令控制执行部进行第一动作;S2:所述执行部动作过程中自输出传感变量并将所述传感变量反馈至所述控制单元;S3:控制单元输出第二控制命令控制执行部进行第二动作进而能够修正所述传感变量至设定范围;S4:若继续加工,系统返回到S2;若加工完成,控制单元控制执行部停止动作。本发明将影响加工精度的多种复杂因素最终通过刀具自传感自驱动实现刀尖与工件的力和/或位移调节,实现精确的误差补偿进而实现最终的加工精度,使复杂问题简单化,大大提高了加工精度。