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一种开度指令的生成方法及其装置
本发明公开了一种开度指令的生成方法及装置,应用于滑动窗滤波器,所述方法包括:获取预先存储的执行机构在输入开度指令0到100%阶跃变化下,所述执行机构开度从0到100%变化时间,在滑动窗滤波器输入端接收开度控制信号,在滑动窗滤波器输出端得到输出信号,根据所述执行机构开度从0到100%变化时间,获取所述输出信号与所述执行机构输出的开度信号的偏差信号,将所述偏差信号输入至比例-积分控制器,得到比例-积分控制信号,将所述比例-积分控制信号作为所述输入开度指令。
一种基于分数阶PID控制的核动力装置管路系统减振降噪方法
本发明涉及一种基于分数阶PID控制的核动力装置管路系统减振降噪方法,通过动力方程建立的核动力装置典型管路系统数学模型能够较好地描述实际系统情况;利用粒子群优化算法能够快速的找到使得系统振动抑制效果最优的控制器参数,即比例增益Kp,积分增益Ki,微分增益Kd,积分阶次λ,微分阶次μ;相较于开环和闭环控制方法,通过引入分数阶PID控制器,能有效的实现对核动力装置典型管路系统振动的抑制;引入分数阶PID输出反馈控制器后其振动的信号能量最高可在开环基础上降低9%。引入分数阶PID状态反馈控制器后其振动的信号能量最高可在开环基础上降低35%。
半导体热处理设备及其装卸载腔室中氧含量的控制方法
本发明实施例提供了一种半导体热处理设备及其装卸载腔室中氧含量的控制方法,所述方法包括:获取装卸载腔室当前的目标氧含量和检测氧含量;根据检测氧含量和目标设置氧含量,确定第一偏差值;根据第一偏差值确定初始吹扫流量;获取装卸载腔室的压力流量转换系数和当前的压力值,并根据压力流量转换系数将压力值转换为参考吹扫流量;根据初始吹扫流量和参考吹扫流量,确定第二偏差值;根据第二偏差值确定最终吹扫流量,并采用最终吹扫流量对装卸载腔室进行吹扫,以控制氧含量。通过本发明实施例,实现了自适应腔室中变化进行氧含量控制,兼顾腔室中的氧含量和压力值,提升了腔室中氧含量控制的准确性和及时性,保证了硅片的加工质量。
基于模糊PID的流化床物料水分开放式智能控制系统
本发明涉及一种基于模糊PID的流化床物料水分开放式智能控制系统,属于制药设备参数控制技术领域;包括流化床参数设置和监控子系统、整机控制子系统、水分检测和在线分析组件、浆液控制和供给组件、流化床主机,参数设置和监控子系统用于设定系统参数及控制策略;整机控制子系统用于根据设定好的参数进行模糊PID控制,并将结果发送给浆液控制和供给组件;水分检测和在线分析组件用于检测流化床主机的物料水分值传递给整机控制子系统;浆液控制和供给组件用于改变流化床主机浆液供给的速度,使流化床主机中沸腾物料的水分实现精确控制;可以实现流化床物料水分的实时采集和监控,可以设计期望的水分目标轨迹,实现水分的精确控制。
一种基于振动模式的电化学检测装置控制系统及检测方法
一种基于振动模式的电化学检测装置控制系统及检测方法,涉及一种电化学检测系统及检测方法。检测装置固定在Z向位移台上,X-Y二维气浮平台上固定三维压电位移台,信号发生器控制激振压电陶瓷环的振动,电容式位移传感器测得激振压电陶瓷环的位移变化经电荷放大器处理后传递给锁相放大器,PID控制器将锁相放大器提取的电压幅值信号运算处理后对压电促动器进行控制,压电促动器、X-Y二维气浮平台和三维压电位移台为上位机提供实时信号,上位机通过UMAC控制器控制Z向位移台、X-Y二维气浮平台和三维压电位移台。探针以振动模式接近被测样品表面,减小相互作用力不易损坏,Z向闭环反馈功能保证距离恒定,检测更加准确。

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