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确定图案化过程的校正的方法
公开了一种确定与衬底上的光刻过程相关的过程参数的校正的方法和相关联的设备。所述光刻过程包括多次运行,在多次运行中的每一次运行期间将图案施加到一个或更多个衬底。所述方法包括获得用于描述所述衬底的属性的曝光前的量测数据;获得曝光后的量测数据,所述曝光后的量测数据包括已经对一个或更多个先前曝光的衬底执行的过程参数的一个或更多个测量值;基于所述曝光前的量测数据,将来自一个或更多个组的组员关系状态分配给所述衬底;和基于所述组员关系状态和所述曝光后的量测数据确定所述过程参数的校正。
光刻机外围设备集成监测系统及监测方法
本发明公开了一种光刻机外围设备集成监测系统,包括:监控PLC、网络连接装置、车间空调系统、空压机、UPS、通讯模块、触摸屏和远程终端,所述监控PLC采集所述车间空调系统、空压机和UPS的运行参数,监测运行状态;所述监控PLC、所述通讯模块和所述触摸屏通过所述网络连接装置进行通信;所述远程终端通过互联网与所述通讯模块进行通信。本发明对各个设备运行状态采集和监控,并实时显示。本发明还公开了光刻机外围设备集成监测系统的监测方法。
光学邻近修正模型的建模方法
本发明提供了一种光学邻近修正模型的建模方法,至少包括以下步骤:设计测试图形,并根据所述测试图形制作测试光罩;利用所述测试光罩将所述测试图形转移至晶圆上,在所述晶圆上形成实际图形,并收集所述实际图形的第一晶圆数据;通过所述第一晶圆数据确定离焦量范围;根据所述离焦量范围进行拟合,以建立光学邻近修正模型。即本发明通过提前确定离焦量范围,且在所述光学邻近修正模型的建模的拟合过程中,将离焦量设定在确定的离焦量范围内,可以减少回归处理的时间和次数,缩短光学邻近修正模型的建模时间,提高建模的效率。
预测图形桥联的方法、装置及电子设备
本发明提供了一种预测图形桥联的方法、装置及电子设备。具体的,通过将实际光刻工艺过程中,光刻工艺制程的波动对曝光在晶圆上的图形的桥联影响,模拟成对已建立的OPC模型的光强阈值的影响,从而在设计版图流片之前,通过对已建OPC模型的光强阈值进行修改的方式,利用修改后的OPC模型对设计版图的测试版图进行多次仿真分析,以便在设计版图进行流片之前,就检查出设计版图中可能由于光刻工艺制程的波动而在发生桥联的主图形,并对检查出的可能发生桥联的主图形进行修正,进而提升产品良率。
检测装置及光刻设备
本发明提供一种检测装置及光刻设备,所述检测装置包括发光单元、遮光单元和探测单元;所述发光单元用于提供光线;所述遮光单元用于控制所述光线的通过,所述光线经过所述遮光单元后,部分所述光线入射至待检测结构并经所述待检测结构散射形成散射信号光;所述探测单元用于接收所述散射信号光,以检测所述待检测结构的颗粒度。即通过所述遮光单元控制所述光线的通过,进而避免所述光线中的杂散光入射到所述待检测结构,从而避免所述杂散光对所述散射信号光造成串扰。进一步的,由于避免了所述杂散光对所述散射信号光造成的串扰,从而提高所述散射信号光的信噪比,提高所述待检测结构的颗粒度的检测精度。
一种打印头机构及打印机
本发明提出了一种打印头机构,涉及打印机技术领域,包括转动设置在机架内的主轴、散热机构、热敏打印头、调节组件和曝光组件,散热机构与主轴连接,散热机构与热敏打印头连接,用于曝光胶片的曝光组件设置在机架内,热敏打印头与曝光组件之间留有间隙。打印头机构将主轴、散热机构、热敏打印头、调节组件和曝光组件组合成一个有机的整体,使其能可拆卸的设置在机架内,通过此设计能使打印头机构适应不同的打印,且通过上述设计还能便于对打印头机构内的部件进行维修和检测设置在主轴上的散热组件能对热敏打印头散发的温度进行控制,防止热敏打印头的温度过高影响热敏打印头的打印效率。与热敏打印头配合使用的曝光组件能增加胶片打印时的质量。
一种打印机
本发明提出了一种打印机,涉及打印机技术领域,包括机架、上纸机构、打印头机构和送纸机构,打印头机构、送纸机构和上纸机构依次设置在机架内,且送纸机构位于上纸机构的输出端处,打印头机构位于送纸机构的输出端处。本技术方案通过将位于机架内的上纸机构、打印头机构和送纸机构结合成一个有机的整体,设置在机架内的上纸机构能够实现自动上纸功能,其上纸方式能避免操作人员以手工方法把打印纸穿过打印介质通道并放在打印预备位置;还在上纸机构的输出端处设有送纸机构,送纸机构能够将上纸机构处传输的胶片良好的导送至打印头机构的打印位置,继而实现对胶片的打印,通过上述机构的系列运转后,提高胶片打印时的打印精度。

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