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一种炉盖发黑处理的单晶生长炉
本发明公开了一种炉盖发黑处理的单晶生长炉,包括炉体、保温筒、晶棒、水冷热屏、加热器、坩埚、埚帮、炉盖、炉盖吸热层和热屏吸热层;所述水冷热屏本体的内壁发黑处理,能够提高热吸收效果,结晶界面的结晶潜热能快速释放,起到提高拉速潜力作用。由于水冷屏上方空间大,同样存在热量积累,在所述炉盖上做发黑处理,有利于热辐射的热量更快速的释放,晶棒经历热历史温度降低和时间缩短。因此本发明能起到提高拉速作用,同时还能起到降低热施主,减少长晶后二次缺陷的产生。
一种导流筒和拉晶炉
本发明实施例公开了一种导流筒和拉晶炉;所述导流筒包括:由外导流筒上部和外导流筒下部于第一接合处接合形成的外导流筒;与所述外导流筒同轴设置并连接的内导流筒;与所述内导流筒在第二接合处接合且与所述外导流筒下部形成缝隙的导流筒套筒;其中,第一接合处和/或所述缝隙处经设置以避免多晶硅熔液飞溅填充而产生粘连。