本发明公开了一种MarkIII型聚碳硅烷及其制备方法,包括如下步骤:将二苯基硅二醇和硼酸加入有机溶剂中,在保护气氛下,于80-110℃进行回流反应15-25h,然后蒸馏除去水和有机溶剂,再升温至300-400℃,保温0.5-3h,降温获得聚硼二苯基硅氧烷;将聚二甲基硅烷粉末加入反应釜,于氮气气氛下,升温至380-450℃,保温1-10h使聚二甲基硅烷粉末热解,即得液态聚硅烷;然后将聚硼二苯基硅氧烷加入液态聚硅烷中,进行热解重排反应,即得MarkIII型聚碳硅烷。所述制备方法简单可控、环保无污染,安全、合成产物质量好,所需设备简单,与现有工艺装置完全兼容。