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一种多层BMN介质薄膜材料及其制备方法
本发明涉及一种介质薄膜材料的制备方法,具体涉及一种具有低介电常数的多层介质薄膜材料的制备方法。本发明所述薄膜材料的分子式为Bi-(1.5)MgNb-(1.5)O-7,其制备方法包括以下工艺步骤:前驱液A的制备,所述前驱液A为Nb~(5+)溶液;前驱液B和前驱液C的制备,所述前驱液B为Bi~(3+)溶液,所述前驱液C为Mg~(2+)溶液;BMN薄膜的制备,制备BMN溶胶,然后将BMN溶胶作为原料在基片上沉积多层BMN薄膜,最终得到BMN多层介质薄膜材料。本发明所述的BMN介质薄膜材料的制备方法为溶胶凝胶法,制备工艺简单,过程无污染,生产成本较低,能显著提升其微波介电性能,具有广泛的应用前景。
一种多相纳米晶陶瓷复合材料的制备方法
本发明公开了一种多相纳米晶陶瓷复合材料的制备方法,首选制备Y-2Ti-2O-7纳米粉末,以氧化钇(Y-2O-3,99.99%)、钛酸四丁酯(C-(16)H-(36)O-4Ti,99%)为原料,无水柠檬酸(C-6H-8O-7,99.50%)做螯合剂,无水乙醇(C-2H-6O,99.70%)为溶剂制备Y-2Ti-2O-7纳米粉末;然后由Y-2Ti-2O-7、ZrO-2(99.99%,50nm)、Al-2O-3(99.99%,20nm)粉末混合合成多相纳米晶陶瓷复合材料。本发明制备过程简单,降低了工艺复杂性;使用该方法可得到较为理想的高温下晶粒生长缓慢的纳米晶陶瓷材料,烧结过程中并未反应生成第二相,且平均颗粒尺寸小于100nm。