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嵌套式扫描探针显微镜
本发明公开了一种嵌套式扫描探针显微镜,包括壳体,还包括沿一轴向依次同轴套设的步进马达、绝缘管、绝缘配重框以及扫描头;步进马达安装于壳体内壁,绝缘管周向设置于步进马达内壁上;绝缘配重框的外壁与绝缘管之间设有弹性件,绝缘配重框通过弹性件受力与绝缘管内壁滑动配合;扫描头安装于绝缘配重框上且具有一测试端,测试端包括用于扫描样品的探针;步进马达用以驱动绝缘配重框及扫描头沿轴向步进。该嵌套式扫描探针显微镜能够实现结构紧凑、体积小、空间利用率高的效果,且具有抗干扰、高度对称性特点,能够减少温度变化引起的热漂移,提高扫描成像的质量。