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掩模板结构及掩模板结构的制备方法
本申请实施例提供一种掩模板结构及掩模板结构的制备方法,通过针对对位掩模条设计异形对位部,可以使得实际对位部与张网部分形成高度差,避免对位部与待蒸镀基板进行接触而导致蒸镀对位部分不稳定,并且掩模板框架上的对位凹槽与对位部一一对应,无需针对整个对位掩模条进行整面开槽,因此开槽面积更小,从而可以提升掩模板框架的机械强度。此外,通过将异形对位部与支撑部进行连接,支撑部与掩模板框架表面形成支撑,可以保证张网过程中对位掩模条能够正常受力。
掩膜组件及其制作方法
本发明涉及一种掩膜组件及其制作方法,掩膜组件包括:掩膜框架;以及掩膜网面,掩膜网面通过多个连接点连接于掩膜框架;其中,掩膜网面包括:网面本体,具有位于网面本体的中心位置的蒸镀区域及围绕蒸镀区域设置的连接区域,网面本体通过连接区域与掩膜框架连接;多个阻挡部,位于连接区域内,多个阻挡部彼此间隔地布设于网面本体的一侧,且阻挡部具有用于容纳连接点的阻挡槽。上述掩膜组件,连接网面本体和掩膜框架的连接点位于阻挡部形成的阻挡槽内,布设于网面本体的阻挡部显著增加了连接点周围的受力面积,从而减小了单位面积所受到的拉力值,进而增加了连接点处产生的裂纹的爬坡难度,延长了掩膜组件的使用寿命。
金属掩模用基材及其制造方法、蒸镀用金属掩模及其制造方法
本发明涉及金属掩模用基材的制造方法、蒸镀用金属掩模的制造方法、金属掩模用基材及蒸镀用金属掩模。在具备表面以及与表面相反侧的面即背面的金属轧制片中,表面及背面的至少一方为处理对象。金属掩模用基材的制造方法为,通过用酸性蚀刻液将处理对象蚀刻3μm以上来使金属轧制片所具有的厚度变薄到10μm以下,并且,将处理对象粗糙化为具有0.2μm以上的表面粗糙度Rz的抗蚀剂用处理面,得到金属制的金属掩模用片。
遮罩
一种遮罩,包括第一表面以及与第一表面相对的第二表面,且遮罩具有全蚀区、半蚀区以及周边区,半蚀区连接全蚀区与周边区,遮罩于全蚀区具有多个贯孔,各贯孔连通第一表面及第二表面,半蚀区具有多个第一半蚀槽,各第一半蚀槽自第一表面凹入。在第一半蚀槽中,最靠近全蚀区的第一半蚀槽的深度大于最靠近周边区的第一半蚀槽的深度。遮罩可避免拉伸应力于全蚀区产生应力不均的问题,从而降低遮罩在张开拉平时的皱褶起伏程度,达到改善遮罩皱褶的优点。

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