百科技术库 各行业技术资料 - 百科资料网
欢迎来到百科技术库 各行业技术资料 - 百科资料网! [免费注册] | [登录] 微信快捷登录 QQ登录 微博登录 | 帮助中心 各行业技术应有尽有!
全国服务热线 13310018778

栏目导航

最新技术
光学邻近修正模型的建模方法
本发明提供了一种光学邻近修正模型的建模方法,至少包括以下步骤:设计测试图形,并根据所述测试图形制作测试光罩;利用所述测试光罩将所述测试图形转移至晶圆上,在所述晶圆上形成实际图形,并收集所述实际图形的第一晶圆数据;通过所述第一晶圆数据确定离焦量范围;根据所述离焦量范围进行拟合,以建立光学邻近修正模型。即本发明通过提前确定离焦量范围,且在所述光学邻近修正模型的建模的拟合过程中,将离焦量设定在确定的离焦量范围内,可以减少回归处理的时间和次数,缩短光学邻近修正模型的建模时间,提高建模的效率。
预测图形桥联的方法、装置及电子设备
本发明提供了一种预测图形桥联的方法、装置及电子设备。具体的,通过将实际光刻工艺过程中,光刻工艺制程的波动对曝光在晶圆上的图形的桥联影响,模拟成对已建立的OPC模型的光强阈值的影响,从而在设计版图流片之前,通过对已建OPC模型的光强阈值进行修改的方式,利用修改后的OPC模型对设计版图的测试版图进行多次仿真分析,以便在设计版图进行流片之前,就检查出设计版图中可能由于光刻工艺制程的波动而在发生桥联的主图形,并对检查出的可能发生桥联的主图形进行修正,进而提升产品良率。

技术分类