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一种微机械加速度计及其校准补偿方法
本发明公开了一种微机械加速度计及其校准补偿方法,属于加速度测量技术领域。可通过双边平行板式梳齿电容上施加偏置调谐电压的方式调节加速度计等效刚度,由于该梳齿电容静电刚度随位移变化,该加速度计也可工作在位置闭环状态。闭环参考位置校准是在调谐电压上引入一个带宽外校准信号,对位移等效电压进行解调滤波,得到位移扰动量,基于此通过反馈环路对参考位置进行补偿,直至位移扰动量降为零;等效刚度校准是在闭环参考位置上加入一个带宽内校准信号,对力平衡反馈控制信号进行解调滤波,得出表征加速度计等效刚度的电压信号,基于此建立刚度补偿闭环可维持加速度计等效刚度恒定不变。本发明有助于检测和抑制加速度计输出漂移。
高抗静摩擦现象的MEMS惯性传感器
公开了一种高抗静摩擦现象的MEMS惯性传感器。MEMS惯性传感器包括支撑结构和惯性结构。惯性结构包括至少一个惯性质量块、弹性结构和止动结构。弹性结构机械地耦合到惯性质量块和支撑结构以使得当支撑结构受到平行于第一方向的加速度时,惯性质量块能够在平行于第一方向的方向上运动。止动结构相对于支撑结构固定,并且至少包括一个主止动元件和一个次止动元件。如果加速度超过第一阈值,则惯性质量块紧靠主止动元件,并且随后围绕由主止动元件限定的旋转轴旋转。如果加速度超过第二阈值,则当惯性质量块紧靠次止动元件时,惯性质量块的旋转终止。
挠性摆片位移测试装置及测试方法
本发明提供了一种挠性摆片位移测试装置及测试方法,挠性摆片包括摆舌及线圈,摆舌的部分表面覆盖有镀金膜层形成反射区,装置包括光源、分光板、温度调节器、第一反射镜组及光电探测器,光源发出的平行光在分光板处分别形成第一检测光及第二检测光,第一检测光经分光板反射至第一反射镜组,经反射后再经分光板透射后被光电探测器接收,第二检测光经分光板透射至反射区,经反射后再经分光板反射后被光电探测器接收,温度调节器用于调节线圈的温度,根据光电探测器接收的光程信息获取挠性摆片的第一位移。通过采用光学相位测量方法来测量石英加速度计的挠性摆片受温度影响的微小位移,解决了传统的电容式检测方法存在的问题。

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