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一种大面积薄膜压力传感器
本发明提供了一种大面积薄膜压力传感器。该大面积薄膜压力传感器包括:上封装层和下封装层;电极层,设置于所述下封装层上,且所述电极层与外部电源连接;纳米敏感层,以薄膜状形态形成于所述上封装层上;柔性支撑层,设置在所述纳米敏感层和所述电极层之间,且构造成在所述大面积薄膜压力传感器受到外界压力时允许所述纳米敏感层和所述电极层的接触,在所述外界压力撤销时使得所述纳米敏感层和所述电极层完全分离。本发明的大面积薄膜压力传感器极大提高了薄膜压力传感器输出性能的一致性以及稳定性。
一种多量程集成的复合膜片式MEMS压力传感器
本发明提出了一种多量程集成的复合膜片式MEMS压力传感器,通过在一个传感器中集成化多个不同量程的模块,实现了对不同量程、不同尺寸的物件的适应性测量,同时提高了测量的一致性。

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