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一种集成共焦法与三角法的探路式测头装置及其测量方法
本发明公开了一种集成共焦法与三角法的探路式测头装置及其测量方法。该侧头装置包括测头座、共焦法位移传感器探头、三角法激光位移传感器和移位式传感器安装组件。所述的共焦法位移传感器探头安装在测头座的底部,且检测头朝下设置。三角法激光位移传感器与测头座通过移位式传感器安装组件连接。移位式传感器安装组件能够带动三角法激光位移传感器进行升降,以及带动三角法激光位移传感器的位置在共焦法位移传感器探头的两侧切换。本发明通过三角法激光位移传感器进行路径检测,在三角法激光位移传感器的量程范围内达到共焦法位移传感器的测量精度,能够满足大量程、高精度的非接触式测量场合。