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一种低缺陷碲锌镉晶体的制备方法和装置
本发明公开了一种低缺陷碲锌镉晶体的制备方法和装置,该装置包括非等径的管式炉体、具有Cd分压容器的石英安瓿和pBN坩埚,所述非等径的管式炉体包括炉体外壳、不少于10段的加热温区以及加热温区之间的隔热板、炉膛上下两端的密封堵头和晶体生长支撑架,每个加热温区设有与电源连通的电极和电缆、温控开关及温度控制系统。该方法包括配料、合成、换管、装炉、晶体生长、降温、切片等步骤。本发明的装置能稳定、重复的进行碲锌镉单晶制备。利用该设备和方法已经制备出高质量、低缺陷的碲锌镉晶体,制备的碲锌镉片面积达到70mm×70mm;沉积相缺陷尺寸≤1μm,密度≤3000cm~(-2);腐蚀坑密度≤5×10~5cm~(-2)。