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有机金属加成化合物以及使用其制造集成电路的方法
公开了有机金属加成化合物以及制造集成电路(IC)器件的方法,该有机金属加成化合物由通式(I)表示:通式(I)在通式(I)中,R~1、R~2和R~3各自独立地为C1至C5烷基,R~1、R~2和R~3中的至少一个为其中至少一个氢原子被氟原子取代的C1至C5烷基,M为铌原子、钽原子或钒原子,X为卤素原子,m为3至5的整数,并且n为1或2。