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一种碲化锌掺锌平面靶材及其制备方法
本发明提供了一种碲化锌掺锌平面靶材的制备方法,包括:S1)混料:将碲化锌粉体、锌单质粉体与碲单质粉体混合,得到混合物料;S2)烧结:将所述混合物料加热烧结,得到烧结物料;S3)球磨:将所述烧结物料进行球磨,得到球磨物料;S4)预压:将所述球磨物料进行预压,得到成型坯体;S5)热压:将所述成型坯体进行真空热压烧结,得到碲化锌掺锌平面靶材。与现有技术相比,本发明在碲化锌中掺锌以及掺碲可以使原本的碲化锌靶材的导电性得到改善,使制得的靶材纯度和密度均较高且可以提高靶材溅射的电导率,并且该制备方法工艺简单,对设备要求较低,成本较低,可批量生产。
一种氧化铝基复合陶瓷及制备方法
本发明属于陶瓷材料技术领域,公开了一种氧化铝基复合陶瓷及制备方法,所述氧化铝基复合陶瓷按质量百分数计,由45~70wt.%的α-Al-2O-3、1~30wt.%的3Y-ZrO-2和10~40wt.%的β-SiC组成;所述氧化铝基复合陶瓷的制备方法包括:按重量百分数分别称取原料;以异丙醇作为球磨介质,将原料混合球磨,烘干,得到均匀混合的粉体原料;将粉体原料热压烧结,得到块体样品;对试样进行抛光,清洗,置于高温马弗炉中高温退火。本发明在陶瓷材料中引入SiC,借助SiC在高温退火过程中的选择性氧化,可实现表面SiO-2层的构建,有助于修复和减少因制备和加工引起的缺陷,提高陶瓷材料的断裂韧性和抗弯强度。