本发明公开了一种集成电路用盐酸的生产工艺,涉及化工技术领域,包括以下步骤：(1)将工业盐酸先添加到膜过滤塔中进行膜过滤处理,得到膜过滤液；(2)将上述得到的膜过滤液进入到阴离子交换树脂塔中进行交换处理,得到交换液；(3)再将交换液进入到氮气排出塔中进行排出处理,通过在氮气排出塔的底部不断通入氮气,得到氮气排出液；(4)再将氮气排出液进入到蒸发塔中,加热进行蒸发处理,得到热蒸汽；(5)将热蒸汽进入到冷凝塔中进行冷凝,得到提纯盐酸；本发明通过对工业盐酸生产工艺进行优化,通过各个处理步骤的协同作用,大幅度的提高了处理后的盐酸的纯度,降低了盐酸中的杂质含量,从而能够更好的满足集成电路工艺中的需求。
