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一种利用激光组装制备半导体微纳米结构的方法及其应用
本发明公开了一种利用激光组装制备半导体微纳米结构的方法及其应用,属于半导体制备技术领域,即利用激光诱导沉积作用精准直写黑硅微纳米结构或碳化硅微纳米结构。通过将微量的半导体纳米粒子颗粒分散在去离子水溶剂中,在强力超声30分钟下,纳米颗粒形成具有一定稳定性的胶体溶液,激光与胶体溶质纳米颗粒作用,最终在电极上形成编程可控的具有高纵横比的半导体微纳米结构。其主要原理为,利用激光与纳米颗粒作用,使得激光的动量发生改变,最终形成的效果是纳米颗粒聚集在激光焦点附近,由于纳米颗粒吸收光能后大部分以热量的形式散发,使得颗粒熔接在电极衬底上。
一种磁性微纳米机器人及其制备方法和应用
本发明提供一种磁性微纳米机器人及其制备方法和应用。所述制备方法包括如下步骤:在第一基片上形成电子束光刻胶层,经曝光和显影后将掩模板上的图案转移到所述光刻胶层上,得到第一微纳米机器人硬模板;用软质倒模材料对得到的第一微纳米机器人硬模板进行倒模,得到微纳米机器人软模板;在第二基片上形成硬质胶层,然后采用纳米压印的方法将所述微纳米机器人软模板上的图形转移到所述硬质胶层上,得到第二微纳米机器人硬模板;在第二微纳米机器人硬模板上形成磁性材料层和生物相容材料层,超声,得到磁性微纳米机器人。相比于现有的激光直写方法,本发明的制备方法成本更低,制备效率更高,且软模版可以多次重复利用,可大批量制备微纳米机器人。