本发明涉及碳化硅陶瓷泵技术领域,公开了一种复相反应烧结碳化硅陶瓷泵及其制作方法,包括泵壳、前护板、叶轮及后护板,泵壳、前护板、叶轮以及后护板均为多层结构,由外至内依次包括有陶瓷结构件、树脂-碳化硅组合粘接层以及金属骨架部,陶瓷结构件的孔隙内填充有反应烧结碳化硅层,所述陶瓷结构件内壁设置有反应烧结碳化硅陶瓷层,所述反应烧结碳化硅层与反应烧结碳化硅陶瓷层一体成型。本发明具有以下优点和效果:陶瓷结构件不同部位的反应烧结碳化硅陶瓷件可同时制备,二次烧结过程中,反应烧结陶瓷件与陶瓷结构件结合紧密,使反应烧结碳化硅陶瓷件与泵体一体性好,提高了泵体的耐磨性。