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一种高真空原位原子力显微镜送样装置
本发明公开了一种高真空原位原子力显微镜送样装置,包括底座,所述底座上安装有原子力显微镜本体:所述底座上对称开设有两个平行的开槽,其中一个所述开槽内设置有光杆,且光杆与开槽的内壁固定连接,另一个所述开槽内设置有螺杆,且螺杆与开槽的内壁转动连接,所述螺杆延伸至开槽外侧并连接有驱动其转动的驱动机构。本发明通过设置转轴,并设置配合转轴运动的翻转机构,通过主动拨盘带动从动槽轮将连续运动转化为间隙运动,从而实现转轴间隙转动。槽轮可以带动样品放置器皿同步翻转,可以实现上侧的样品放置器皿用于测量,两侧的样品放置器皿用于备选,便于实现切换测量,极大的节约了测量人员的时间和精力。
用于背面平面视图薄片制备的方法和系统
用于背面平面视图薄片制备的方法和系统。平面视图薄片的背面由从工件中提取的样品制备。所述样品包括多个器件层和衬底层。在去除覆盖末级器件层的所述衬底层的至少一部分以获得样品表面之后,利用电子束交替扫描与所述样品表面相关的感兴趣区域(ROI)并自发蚀刻所述感兴趣区域,直到所述ROI内的所述末级器件层暴露为止。在所述末级器件层暴露以获得所述平面视图薄片的所述背面之后,可从所述样品背面去除一个或多个器件层。