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透明基板薄膜的瑕疵检测方法及其系统
本发明提出一种透明基板薄膜的瑕疵检测方法及其系统。瑕疵检测方法包括以下步骤:通过处理器取得具有透明基板薄膜的基板的基板影像;通过处理器对基板影像进行影像前处理,以决定感兴趣区域;通过处理器对基板影像中的感兴趣区域进行影像分割处理,以区别在感兴趣区域中的周边区域以及材料区域,并且产生遮罩影像;以及通过处理器比对遮罩影像与基板影像,以分析在基板影像的材料区域中的材料图案是否具有图案瑕疵,并且进而判断基板是否具有瑕疵。由此,可自动且有效地检测透明基板薄膜的基板是否具有瑕疵。
透射光学系统的检查装置
本发明提供一种透射光学系统的检查装置,能够以高灵敏度检测被检体的缺陷。本发明的例示性的实施方式所涉及的透射光学系统的检查装置包括:光源,向被检体照射光;聚光透镜,在被检体上形成光的焦点;遮光部,局部地遮挡由聚光透镜集中的光;以及拍摄部,接收通过被检体后的光而取得影像,光源的宽度相对于遮光部的宽度的比例为1:1~1:8。由此,能够以高灵敏度检测被检体的缺陷。

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