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单热源全桥式z轴薄膜陀螺及其加工方法
本申请公开了一种单热源全桥式z轴薄膜陀螺及其加工方法,该z轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板,其中所述敏感层的上表面设置有一加热器和四个热敏电阻;加热器的通电方式为周期方波式通电;盖板上刻蚀有凹槽,且与敏感层的上表面密闭连接。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容,很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上,具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块,较其他工作原理的微型惯性传感器,具有抗大冲击,结构简单,成本极低,可靠性高的优势。本发明中四个热敏电阻构成等臂电桥,四个桥臂作为工作臂均参与敏感热气流的偏转,灵敏度是单一工作臂的四倍,大大提高了陀螺灵敏度。

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