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一种在线分区调整抛光头装卸片压力的方法及系统
本发明公开了一种在线分区调整抛光头装卸片压力的方法及系统。所述抛光头包括多个压力分区,所述方法包括:分别获取所述抛光头的各压力分区的设置压力;根据所述抛光头的各压力分区的设置压力,实时获取所述抛光头的各压力分区对应的实际压力;根据当前压力分区的设置压力及实际压力,实时对当前压力分区的下一预设配置压力进行修正;对当前压力分区的下一预设配置压力进行修正得到压力修正值,将所述压力修正值作为对应分区的实际配置压力。通过本发明提供的方法提高了装卸片的成功率及设备的整体运行效率。

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