具体实施方式

在下文中，将参考附图描述本发明的实施例。注意，以下描述是作为示例给出的。

尽管在本说明书中将打印描述为处理的典型示例，但是该技术可以用于使用激光的各种标记，诸如包括QR码(注册商标)的图形的标记等，而不限于打印。

<总体配置>

图1是示出标记系统S的总体配置的图。图2是示出标记系统S中的激光标记器L的示意性配置的框图。图1中示出的标记系统S包括激光标记器L以及与其连接的操作终端800、外部装置900和外部终端700。

图1和图2所示的激光标记器L利用从标记器头1发射的激光照射作为被打印物体的工件W，并且在工件W的表面上进行三维扫描以进行打印。这里的“三维扫描”表示这样一个概念，其统称为扫描激光在工件W表面上的照射位置的二维操作(所谓的“二维扫描”)和调整激光的焦点位置的一维操作的组合。

在以下描述中，用于在工件W上进行打印的激光有时被称为“打印激光”，以区别于其它激光。

根据该实施例的激光标记器L可以利用内置在标记器头1中的距离测量单元5来测量到工件W的距离(工件W的高度)，并且还使用测量结果来调整打印激光的焦点位置。距离测量单元5是本实施例中的“距离测量机构”的示例。

如图1和2所示，激光标记器L包括被配置为发射激光的标记器头1和被配置为控制标记器头1的标记器控制器100。

在该实施例中，标记器头1和标记器控制器100是独立构件，并且经由电气配线电连接以及经由光纤线缆光耦合。

更典型地，标记器头1和标记器控制器100中的一个可以被结合到另一个中以一体化。在这种情况下，可以适当省略光纤线缆等。

操作终端800具有例如中央处理单元(CPU)和存储器，并且连接到标记器控制器100。操作终端800用作被配置为设置诸如打印设置等的各种处理条件(也称为打印条件)并向用户显示与激光标记相关的信息的终端。操作终端800包括被配置为向用户显示信息的显示部801、接收来自用户的操作输入的操作部802、以及被配置为存储各种类型的信息的存储设备803。

具体地，显示部801使用例如液晶显示器或有机EL面板来配置。显示部801显示激光标记器L的操作状态和打印条件作为与激光标记相关的信息。另一方面，操作部802使用例如键盘和/或指示装置来配置。这里，指示装置包括鼠标和/或操纵杆。操作部802被配置为接收来自用户的操作输入，并被用于经由标记器控制器100操作标记器头1。

如上所述配置的操作终端800可以基于来自用户的操作输入来设置激光标记中的打印条件。打印条件的示例包括需要打印在工件W上的字符串、诸如条形码和QR码(注册商标)等的图形内容(标记图案)、激光所需的输出(目标输出)以及激光在工件W上的扫描速度中的至少一项或多项。

根据该实施例的打印条件还包括与距离测量单元5相关的条件和参数(在下文中，也称为“距离测量条件”)。距离测量条件的示例包括将指示距离测量单元5的检测结果的信号与到工件W的表面的距离相关联的数据。

由操作终端800设置的打印条件被输出到标记器控制器100，并被存储在条件设置存储部102中。操作终端800中的存储设备803可以根据需要存储打印条件。

注意，例如，操作终端800可以一体化到标记器控制器100中。在这种情况下，使用诸如控制单元等的名称来代替“操作终端”，但是至少在该实施例中，操作终端800和标记器控制器100是彼此分离的构件。

根据需要将外部装置900连接到激光标记器L的标记器控制器100。在图1所示的示例中，提供了图像辨别设备901和可编程逻辑控制器(PLC)902作为外部装置900。

具体地，例如，图像辨别设备901判断在生产线上输送的工件W的类型和位置。作为图像辨别设备901，例如，可以使用图像传感器。PLC 902用于根据预定的序列控制标记系统S。

此外，根据该实施例的激光标记器L包括以有线或无线方式连接到标记器控制器100的外部终端700。外部终端700可以执行用于支持对工件W上发生的打印缺陷的诊断的诊断支持方法，并且用作诊断支持设备。该诊断支持方法可以由操作终端800执行。在这种情况下，一个终端用作操作终端800和外部终端700这两者。这种配置可以例如通过在公共终端中安装被配置为操作激光标记器L的程序和被配置为执行诊断支持方法的程序(稍后描述的诊断支持程序)来实现。

在下文中，将依次描述标记器控制器100和标记器头1各自的硬件配置以及与标记器控制器100对标记器头1的控制相关的配置。此后，将详细描述作为诊断支持设备的外部终端700的配置。

<标记器控制器100>

如图2所示，标记器控制器100包括：条件设置存储部102，其存储打印条件；控制部101，其基于存储在条件设置存储部102中的打印条件来控制标记器头1；以及激发光生成部110，其生成激光激发光(激发光)。

具体地，条件设置存储部102使用易失性存储器、非易失性存储器、硬盘驱动器(HDD)或固态驱动器(SSD)等来配置，并且可以临时或持续存储指示打印条件的信息。

(控制部101)

控制部101基于存储在条件设置存储部102中的打印条件，至少控制标记器控制器100中的激发光生成部110以及标记器头1中的激光输出部2、激光引导部3、激光扫描部4、距离测量单元5、同轴照相机6和全体照相机(非同轴照相机)7，以在工件W上执行打印。

具体地，控制部101具有CPU、存储器和输入/输出总线，并且基于指示经由操作终端800输入的信息的信号和指示从条件设置存储部102读取的打印条件的信号来生成控制信号。控制部101将这样生成的控制信号输出到激光标记器L的各个部，以控制对工件W的打印和到工件W的距离的测量。

例如，当开始处理工件W时，控制部101读取存储在条件设置存储部102中的目标输出，将基于目标输出生成的控制信号输出到激发光源驱动部112，并控制激光激发光的生成。

当实际处理工件W时，控制部101读取例如存储在条件设置存储部102中的打印内容(标记图案)，向激光扫描部4输出基于打印内容生成的控制信号，并且二维扫描打印激光。

以这种方式，控制部101可以控制激光扫描部4，以实现打印激光的二维扫描。

(激发光生成部110)

激发光生成部110包括：激发光源111，其根据驱动电流生成激光；激发光源驱动部112，其向激发光源111提供驱动电流；以及激发光会聚部113，其光学耦合到激发光源111。

在下文中，将依次描述激发光生成部110的各个部。

激发光源驱动部112基于从控制部101输出的控制信号向激发光源111供应驱动电流。虽然没有详细描述，但是激发光源驱动部112基于由控制部101确定的目标输出来确定驱动电流，并将这样确定的驱动电流供应至激发光源111。

激发光源111从激发光源驱动部112供应驱动电流，并且根据驱动电流振荡激光。例如，激发光源111使用激光二极管(LD)等来配置，并且可以使用多个LD元件线性排列的LD阵列或LD条。

激发光会聚部113会聚从激发光源111输出的激光，并输出会聚的激光作为激光激发光(激发光)。例如，激发光会聚部113使用聚焦透镜等来配置，并且具有激光入射的入射面和输出激光激发光的发射面。激发光会聚部113经由上述光纤线缆光学耦合到标记器头1。因此，从激发光会聚部113输出的激光激发光经由光纤线缆被引导到标记器头1。

(其它构成要素)

标记器控制器100还具有距离测量部103，其使用距离测量单元5来测量到工件W的距离。距离测量部103电连接到距离测量单元5，并且可以接收与距离测量单元5的测量结果相关的信号(至少，指示距离测量光接收部5B中距离测量光的光接收位置的信号)。

如将在后面描述的，根据该实施例的激光标记器L还包括同轴照相机6和作为非同轴照相机的全体照相机7。该激光标记器L可以通过操作同轴照相机6和全体照相机7中的至少一个来拍摄工件W的表面的图像。

标记器控制器100包括距离测量部103、图像处理部104和合格/不合格判断部105，以进行与由同轴照相机6或全体照相机7生成的拍摄图像Pw相关的处理。

标记器控制器100还包括设置关于标记图案的信息的设置部107。控制部101等读取并使用设置部107的设置内容。

另一方面，从距离测量单元5输出的信号基本上与到工件W的表面的距离相对应。然而，例如，当透光窗口19被污染时，除了与到工件W的表面的距离相对应的信号之外，有时还检测与到透光窗口19的表面的距离相对应的信号。注意，这里提到的透光窗口19表示打印激光穿过以使得在标记器头1内部生成和放大的打印激光发射到外部的窗口部分。

因此，根据该实施例的标记器控制器100还包括被配置为检测透光窗口19上的污染的污染检测部106。污染检测部106的检测结果可以输出到距离测量部103、操作终端800和/或外部装置900。

距离测量部103、图像处理部104、合格/不合格判断部105和污染检测部106可以使用控制部101来配置。例如，控制部101也可以用作距离测量部103。此外，图像处理部104还可以用作合格/不合格判断部105等。稍后将描述距离测量部103、图像处理部104、合格/不合格判断部105和污染检测部106的细节。

<标记器头1>

如上所述，由激发光生成部110生成的激光激发光经由光纤线缆被引导至标记器头1。标记器头1包括：激光输出部2，其基于激光激发光放大并生成激光，并且输出激光；激光扫描部4，其利用从激光输出部2输出的激光照射工件W的表面，以进行二维扫描；激光引导部3，其形成从激光输出部2到激光扫描部4的光路；距离测量单元5，其被配置为基于经由激光扫描部4投射和接收的距离测量光来测量到工件W的表面的距离；以及同轴照相机6和全体照相机7，其拍摄工件W的表面的图像。

这里，根据该实施例的激光引导部3不仅形成光路，而且与以下的多个构件组合：诸如调整激光的焦点位置的Z扫描仪(焦点调整部)33、发射引导光的引导光源36以及对工件W的表面的图像进行拍摄的同轴照相机6等。

激光引导部3还包括：上游合并机构31，其使得从激光输出部2输出的打印激光与从引导光源36发射的引导光合并；以及下游合并机构35，其使得被引导至激光扫描部4的激光与从距离测量单元5投射的距离测量光合并。

图3A和3B是示出标记器头1的示意性配置的框图，以及图4是示出标记器头1的外观的透视图。在图3A至3B之间，图3A示出了使用打印激光处理工件W的情况，以及图3B示出了使用距离测量单元5来测量到工件W的表面的距离的情况。

如图3A至图4所示，标记器头1包括壳体10，在壳体中至少设置有激光输出部2、激光引导部3和激光扫描部4。如图4所示，壳体10具有大致矩形的外形。壳体10的下表面由板状底板10a分隔开。底板10a设置有透光窗口19，该透光窗口19被配置为从标记器头1向标记器头1的外部发射激光。透光窗口19通过将能够透射打印激光、引导光和距离测量光的板状透明构件装配到在板厚度方向上贯穿底板10a的通孔中来配置。

在下面的描述中，图4中的壳体10的长边方向有时简称为“长边方向”或“前后方向”，以及图中的壳体10的短边方向有时简称为“短边方向”或“左右方向”。同样地，图4中壳体10的高度方向有时简称为“高度方向”或“上下方向”。

图5是示出激光扫描部4的配置的透视图。

如图5所示，分隔部11设置在壳体10内部。壳体10的内部空间被分隔部11分隔成沿长边方向的一侧和另一侧。

具体地，分隔部11形成为在垂直于壳体10的长边方向的方向上延伸的平板状。在下文中，壳体10内的在沿长边方向的一侧(图4中的后侧)分隔的空间被称为第一空间S1，而在沿长边方向的另一侧(图4中的前侧)分隔的空间被称为第二空间S2。

在该实施例中，激光输出部2、激光引导部3的一些组件、激光扫描部4和距离测量单元5布置在第一空间S1内。另一方面，激光引导部3的主要组件布置在第二空间S2内。

具体地，第一空间S1由大致平板状的基板12分隔成沿短边方向的一侧(图4中的左侧)的空间和另一侧(图4中的右侧)的空间。在前一空间中，主要布置构成激光输出部2的组件。图5所示的散热器22等布置在后一空间中。

第二空间S2容纳构成激光引导部3的大部分组件。这些组件容纳在由分隔部11和分隔壳体10的前表面的盖构件17包围的空间中。

在下文中，将依次描述激光输出部2、激光引导部3、激光扫描部4和距离测量单元5的配置。

(激光输出部2)

激光输出部2被配置为基于由激发光生成部110所生成的激光激发光生成用于打印的打印激光，并将用于打印的打印激光输出到激光引导部3。

具体地，激光输出部2包括：激光振荡器21a，其基于激光激发光生成具有预定波长的激光并放大该激光并且发射打印激光；光束采样器21b，其被配置为分离从激光振荡器21a振荡的打印激光的一部分；以及功率监视器21c，由光束采样器21b分离的打印激光入射到该功率监视器。

虽然省略了细节，但是根据该实施例的激光振荡器21a包括进行与激光激发光相对应的受激发射以发射激光的激光介质、被配置为对从激光介质发射的激光进行脉冲调制的调Q开关、以及对由调Q开关脉冲调制的激光进行谐振的反射镜。

功率监视器21c检测打印激光的输出。功率监视器21c电连接到标记器控制器100，并且可以向控制部101等输出其检测信号。

(激光引导部3)

激光引导部3形成将从激光输出部2发射的打印激光引导至激光扫描部4的激光路径P的至少一部分。除了被配置为形成激光路径P的弯曲镜34之外，激光引导部3包括Z扫描仪(焦点调整部)33和引导光源(引导光发射部)36等。所有这些组件都设置在壳体10内部(主要在第二空间S2中)。

从激光输出部2入射的打印激光被弯曲镜34反射，并穿过激光引导部3。被配置为调整打印激光的焦点位置的Z扫描仪33布置在通往弯曲镜34的路径上。已经穿过Z扫描仪33并被弯曲镜34反射的打印激光入射到激光扫描部4。

由激光引导部3形成的激光路径P可以以作为焦点调整部的Z扫描仪33作为边界被划分成两部分。具体地，由激光引导部3形成的激光路径P可以被划分成从激光输出部2到Z扫描仪33的上游光路Pu和从Z扫描仪33到激光扫描部4的下游光路Pd。

更具体地，上游光路Pu设置在壳体10内部，并且在穿过上游合并机构31之后从激光输出部2延伸到Z扫描仪33。

另一方面，下游光路Pd设置在壳体10内部，并且在依次通过弯曲镜34和下游合并机构35之后，从Z扫描仪33延伸到激光扫描部4中的第一扫描仪41。

以这种方式，在壳体10内部，上游合并机构31设置在上游光路Pu的中间，以及下游合并机构35设置在下游光路Pd的中间。

-Z扫描仪33-

作为焦点调整部的Z扫描仪33布置在由激光引导部3形成的光路的中间，并且可以调整从激光输出部2发射的打印激光的焦点位置。

具体地，Z扫描仪33设置在壳体10内的激光路径P中的从上游合并机构31(其是引导光合并机构)到激光扫描部4的光路的中间。

具体地，如图3A至3B所示，根据该实施例的Z扫描仪33包括：输入透镜33a，其透射从激光输出部2发射的打印激光；准直透镜33b，其透射穿过输入透镜33a的打印激光；输出透镜33c，其透射穿过输入透镜33a和准直透镜33b的打印激光；透镜驱动部33d，其移动输入透镜33a；以及外壳33e，其容纳输入透镜33a、准直透镜33b和输出透镜33c。

作为焦点调整部的Z扫描仪33用作被配置为在上下方向上扫描打印激光的机构。在下文中，Z扫描仪33的扫描方向有时被称为“Z方向”。

穿过Z扫描仪33的打印激光与从引导光源36发射的引导光同轴。因此，不仅打印激光，而且引导光的焦点位置也可以通过操作Z扫描仪33一起调整。

注意，根据该实施例的Z扫描仪33(特别是Z扫描仪33中的透镜驱动部33d)被配置为基于从控制部101输出的控制信号来操作。

-弯曲镜34-

弯曲镜34设置在下游光路Pd的中间，并且布置成使光路Pd弯曲以指向后侧。尽管未示出，但是弯曲镜34布置在与下游合并机构35中的光学构件35a基本相同的高度处，并且可以反射穿过Z扫描仪33的打印激光和引导光。

由弯曲镜34反射的打印激光和引导光向后传播，穿过下游合并机构35，并到达激光扫描部4(具体地，第一扫描仪41)。

-下游合并机构35-

下游合并机构35使得从距离测量单元5中的距离测量光发射部5A发射的距离测量光与下游光路Pd合并，以经由激光扫描部4被引导朝向工件W。另外，下游合并机构35将被工件W反射并顺次返回到激光扫描部4和下游光路Pd的距离测量光引导到距离测量单元5中的距离测量光接收部5B。

下游合并机构35可以使用例如分色镜来配置。具体地，根据该实施例的下游合并机构35具有分色镜35a，该分色镜透射距离测量光和引导光中的一个并反射另一个(参见图5)。因此，打印激光和引导光入射到分色镜35a一侧的镜面上，并且距离测量光入射到另一侧的镜面上。

根据该实施例的分色镜35a可以反射距离测量光并透射打印激光和引导光。因此，例如，当从距离测量单元5发射的距离测量光入射到分色镜35a上时，可以使距离测量光与下游光路Pd合并，从而与打印激光和引导光同轴。如图3A和3B所示，以这种方式同轴的打印激光、引导光和距离测量光到达第一扫描仪41。

另一方面，被工件W反射的距离测量光返回到激光扫描部4并到达下游光路Pd。返回到下游光路Pd的距离测量光被下游合并机构35中的分色镜35a反射，并到达距离测量单元5。

(激光扫描部4)

如图3A所示，激光扫描部4被配置为利用从激光输出部2发射并由激光引导部3引导的激光(打印激光)照射工件W，并且在工件W的表面上进行二维扫描。

在图5所示的示例中，激光扫描部4被配置为所谓的双轴电流扫描仪。也就是说，激光扫描部4包括：第一扫描仪41，其被配置为在第一方向上扫描从激光引导部3入射的打印激光；以及第二扫描仪42，其被配置为在第二方向上扫描由第一扫描仪41扫描的打印激光。

这里，第二方向表示基本上垂直于第一方向的方向。因此，第二扫描仪42可以在基本上垂直于第一扫描仪41的方向上扫描打印激光。在该实施例中，第一方向等于前后方向(壳体10的长边方向)，以及第二方向等于左右方向(壳体10的短边方向)。在下文中，第一方向被称为“X方向”，以及与其垂直的第二方向被称为“Y方向”。X方向和Y方向这两者都垂直于上述Z方向。

第一扫描仪41在其末端具有第一反射镜41a。第一反射镜41a由内置在第一扫描仪41中的马达(未示出)旋转驱动。该马达可以使第一反射镜41a围绕沿上下方向延伸的旋转轴旋转。可以通过调整第一反射镜41a的旋转姿态来调整第一反射镜41a对打印激光的反射角。

同样地，第二扫描仪42在其末端具有第二反射镜42a。第二反射镜42a由内置在第二扫描仪42中的马达(未示出)旋转驱动。该马达可以使第二反射镜42a围绕沿前后方向延伸的旋转轴旋转。可以通过调整第二反射镜42a的旋转姿态来调整第二反射镜42a对打印激光的反射角。

当打印激光从下游合并机构35入射到激光扫描部4上时，打印激光顺次被第一扫描仪41中的第一反射镜41a和第二扫描仪42中的第二反射镜42a反射，并经由透光窗口19发射到标记器头1的外部。

此时，通过操作第一扫描仪41的马达以调整第一反射镜41a的旋转姿态，可以在工件W的表面上沿第一方向扫描打印激光。同时，通过操作第二扫描仪42的马达以调整第二反射镜42a的旋转姿态，可以在工件W的表面上沿第二方向扫描打印激光。

如上所述，不仅打印激光，而且穿过下游合并机构35的光学构件35a的引导光或由同一构件35a反射的距离测量光也入射到激光扫描部4。根据该实施例的激光扫描部4可以通过分别操作第一扫描仪41和第二扫描仪42来二维扫描以这种方式入射的引导光或距离测量光。

以这种方式，根据该实施例的激光扫描部4由作为扫描控制部的控制部101电气控制，并且可以利用打印激光照射设置在工件W的表面上的打印区域R1，以在打印区域R1中形成预定的打印图案(标记图案)。

(同轴照相机6)

同轴照相机6具有由从激光输出部2到激光扫描部4的激光路径P分支的摄像光轴A1(参见图3A和3B)。同轴照相机6利用激光扫描部4拍摄工件W的图像。同轴照相机6拍摄布置在由激光扫描部4二维扫描的区域(打印区域R1)中的工件W的图像，以生成包括工件W的至少一部分的拍摄图像Pw。同轴照相机6是本实施例中的“图像获取部”的示例。

同轴照相机6被配置为与用于打印的打印激光同轴的摄像机构。同轴照相机6具有比全体照相机7更窄的视野，但是可以生成打印区域R1以相对高的放大率被放大的图像作为拍摄图像Pw，并且可以利用激光扫描部4二维扫描摄像区域。同轴照相机6例如用于生成打印区域R1的一部分被局部放大的图像。

由同轴照相机6生成的拍摄图像Pw可以在其至少一部分被放大或缩小的状态下显示在显示部801上。

根据该实施例的同轴照相机6内置在壳体10中。具体地，同轴照相机6被布置在与激光引导部3中的弯曲镜34基本相同的高度处。同轴照相机6接收从激光扫描部4入射到激光引导部3的反射光。同轴照相机6被配置成使得在工件W的打印点处反射的反射光经由弯曲镜34进入。同轴照相机6可以形成这样进入的反射光的图像，以拍摄工件W的表面的图像。注意，同轴照相机6的布局可以适当地改变。例如，同轴照相机6和弯曲镜34的高度可以彼此不同。

同轴照相机6用于图像形成的反射光从下游光路Pd分支并传播。因此，通过适当操作激光扫描部4，可以二维扫描图9所示的打印区域R1。

与引导光源36等同样地，根据该实施例的同轴照相机6被配置为基于从控制部101输出的控制信号来操作。

(全体照相机7)

全体照相机7具有独立于激光路径P的摄像光轴A2(参见图9)。全体照相机7在没有激光扫描部4的情况下拍摄工件W的图像。与同轴照相机6同样地，全体照相机7拍摄布置在由激光扫描部4二维扫描的区域(打印区域R1)中的工件W的图像，以生成包括工件W的至少一部分的拍摄图像Pw。全体照相机7是本实施例中的“图像获取部”的示例。

全体照相机7被配置为与用于打印的打印激光不同轴的摄像机构。全体照相机7不能使用激光扫描部4进行二维扫描，但是具有比同轴照相机6更宽的视野，并且能够生成通过在相对宽的视野中拍摄打印区域R1的图像而获得的图像作为拍摄图像Pw。例如，全体照相机7用于一次拍摄整个打印区域R1的图像。

由全体照相机7生成的拍摄图像Pw可以在其至少一部分被放大或缩小的状态下显示在显示部801上。显示部801可以并排显示由全体照相机7生成的拍摄图像Pw和由同轴照相机6生成的拍摄图像Pw，或者选择性地显示两种拍摄图像Pw之一。

根据该实施例的全体照相机7布置在透光窗口19的正上方，并且固定成其摄像透镜面朝下的姿态。如上所述，全体照相机7的摄像光轴A2与上述打印激光的光轴Az不同轴(参见图3A、3B和9)。

注意，根据该实施例的“图像获取部”包括同轴照相机6和全体照相机7中的至少一个。也就是说，可以使用同轴照相机6或全体照相机7来生成拍摄图像Pw，或者可以组合使用这两者来生成拍摄图像Pw。包括同轴照相机6和全体照相机7这两者的配置不是必需的。可以提供其中任何一个。

(距离测量单元5)

如图3B所示，距离测量单元5经由激光扫描部4投射距离测量光，并利用距离测量光照射工件W的表面。距离测量单元5还经由激光扫描部4接收由工件W的表面反射的距离测量光。

距离测量单元5主要被划分成用于投射距离测量光的模块和用于接收距离测量光的模块。具体地，距离测量单元5包括：距离测量光发射部5A，其被配置为用于投射距离测量光的模块；以及距离测量光接收部5B，其被配置为用于接收距离测量光的模块。

距离测量光发射部5A设置在壳体10内部，并且朝向激光扫描部4发射距离测量光，该距离测量光用于测量激光标记器L中从标记器头1到工件W的表面的距离。

另一方面，距离测量光接收部5B与距离测量光发射部5A同样地设置在壳体10内部，并且接收在工件W的表面上反射并且经由激光扫描部4和下游合并机构35返回的距离测量光。

在下文中，将依次描述距离测量单元5的各个部的配置。

-距离测量光发射部5A-

距离测量光发射部5A设置在壳体10内部，并且被配置为发射距离测量光，该距离测量光用于测量激光标记器L中从标记器头1到工件W的表面的距离。

具体地，距离测量光发射部5A包括上述距离测量光源51和光投射透镜52。

距离测量光源51根据从控制部101输入的控制信号向壳体10的前侧发射距离测量光。具体地，根据该实施例的距离测量光源51可以发射可见光范围内的激光作为距离测量光。

光投射透镜52可以是例如平凸透镜。光投射透镜52收集从距离测量光源51发射的距离测量光，并将距离测量光发射到外壳的外部。

从距离测量光源51发射的距离测量光穿过光投射透镜52的中央部，并输出到距离测量单元5的外部。这样输出的距离测量光被弯曲镜59和下游合并机构35中的光学构件35a反射，并入射到激光扫描部4。

入射到激光扫描部4的距离测量光顺次被第一扫描仪41的第一反射镜41a和第二扫描仪42的第二反射镜42a反射，并从透光窗口19发射到标记器头1的外部。

如激光扫描部4的描述中所述，通过调整第一扫描仪41的第一反射镜41a的旋转姿态，可以在工件W的表面上沿第一方向扫描距离测量光。同时，通过操作第二扫描仪42的马达以调整第二反射镜42a的旋转姿态，可以在工件W的表面上沿第二方向扫描距离测量光。

这样扫描的距离测量光在工件W的表面上反射。这样反射的距离测量光的一部分(以下也称为“反射光”)通过透光窗口19入射到标记器头1的内部。入射到标记器头1内部的反射光经由激光扫描部4返回到激光引导部3。反射光被激光引导部3中的下游合并机构35的光学构件35a反射，并经由弯曲镜59入射到距离测量单元5。

-距离测量光接收部5B-

距离测量光接收部5B设置在壳体10内部，并且被配置为接收从距离测量光发射部5A发射并被工件W反射的距离测量光(相当于上述“反射光”)。

具体地，距离测量光接收部5B具有一对光接收元件56L和56R以及光接收透镜57。

该对光接收元件56L和56R分别具有斜向前取向的光接收面，并检测相应光接收面上的反射光的光接收位置，以及输出指示检测结果的信号(检测信号)。从各个光接收元件56L和56R输出的检测信号被输入到标记器控制器100，并到达距离测量部103。

光接收透镜57布置在壳体10内部，以允许该对光接收元件56L和56R的各个光轴通过。光接收透镜57也设置在连接下游合并机构35和该对光接收元件56L和56R的光路的中间，并且可以将穿过下游合并机构35的反射光收集在该对光接收元件56L和56R的各个光接收面上。

光接收透镜57收集返回到激光扫描部4的反射光，并且在各个光接收元件56L和56R的光接收面上形成反射光的光斑。各个光接收元件56L和56R向距离测量部103输出指示这样形成的光斑的峰位置和光接收量的信号。

基本上，激光标记器L可以基于各个光接收元件56L和56R的光接收面上的反射光的光接收位置(在该实施例中，光斑的峰的位置)来测量到工件W的表面的距离。所谓的三角测量法被用作距离测量方法。

-关于距离测量方法-

图6是示出三角测量法的图。尽管图6仅示出了距离测量单元5，但是以下描述对于如上所述经由激光扫描部4发射距离测量光的情况是通用的。

如图6所示，当距离测量光发射部5A中的距离测量光源51发射距离测量光时，工件W的表面被距离测量光照射。当距离测量光被工件W反射时，如果镜面反射的影响已经消除，则反射光(尤其是漫射和反射光)各向同性地传播。

虽然以这种方式传播的反射光包含经由光接收透镜57入射到光接收元件56L的分量，但是入射到光接收元件56L的入射光的入射角根据标记器头1与工件W之间的距离而增大或减小。当相对于光接收元件56L的入射角增大或减小时，光接收面56a上的光接收位置发生位移。

以这种方式，标记器头1与工件W之间的距离与光接收面56a上的光接收位置以预定关系彼此关联。因此，例如，当预先掌握这种关系并存储在标记器控制器100中时，标记器头1与工件W之间的距离可以根据光接收面56a上的光接收位置来计算。这种计算方法仅仅是一种使用所谓三角测量法的方法。

也就是说，距离测量部103基于距离测量光接收部5B中的距离测量光的光接收位置，通过三角测量法测量从激光标记器L到工件W的表面的距离。

具体地，条件设置存储部102预先存储光接收面56a上的光接收位置与从标记器头1到工件W的表面的距离之间的关系。另一方面，指示距离测量光接收部5B中的距离测量光的光接收位置的信号(具体地，由距离测量光的反射光在光接收面56a上形成的光斑的峰的位置)被输入到距离测量部103。

距离测量部103基于这样输入的信号和存储在条件设置存储部102中的关系来测量到工件W的表面的距离。这样获得的测量值被输入到例如控制部101，并且被控制部101用来控制Z扫描仪33等。

例如，激光标记器L自动或手动确定工件W的表面上要由标记器头1处理的部位(打印点)。随后，激光标记器L在执行打印之前测量到各个打印点(更准确地，围绕打印点设置的距离测量点)的距离，并确定Z扫描仪33的控制参数，使得焦点位置与测量的距离相当。激光标记器L基于这样确定的控制参数来操作Z扫描仪33，然后利用打印激光在工件W上进行打印。

在下文中，将描述使用标记系统S的具体方法。

<关于使用标记系统S的方法>

图7是示出使用标记系统S的方法的流程图。图8是示出创建打印设置、搜索设置和距离测量设置的过程的流程图，图9是示出打印区域R1与设置面R4之间的关系的图，以及图10是示出显示部801上的显示内容的图。

此外，图11是示出操作激光标记器L的过程的流程图。图12是示出操作激光标记器L时生成的打印日志Lg的内容的图。

设置有激光标记器L的标记系统S可以在例如安装在工厂的生产线上的状态下操作。操作时，首先，在生产线操作之前创建条件设置，诸如要流经生产线的工件W的安装位置以及照射工件W的打印激光和距离测量光的各个输出等(步骤S1)。

在步骤S1中创建的设置内容被传送并存储在标记器控制器100和/或操作终端800中，或者在创建之后紧接着被标记器控制器100读取(步骤S2)。

然后，在操作生产线时，标记器控制器100参考预先存储的或在创建后紧接着读取的设置内容。激光标记器L基于参考的设置内容进行操作，并且对流经流水线的各个工件W执行打印(步骤S3)。具体地，每当各个工件W被输送到标记器头1附近时，PLC 903向标记器控制器100输入触发。每次输入触发时，标记器控制器100对各个工件W执行打印序列。这里所指的打印序列表示用于对各个工件W进行打印的操作(详情参见图11)。标记器控制器100针对各个要打印的工件W执行打印序列。

当对所有工件W的打印完成时，标记器控制器100输出打印日志Lg，其中打印结果以时间序列方式排列(步骤S4)。打印日志Lg可以使用通用文本文件来配置，并且存储在包括条件设置存储部102的各种存储介质中。打印日志Lg可以与步骤S3的处理并行实时生成。标记器控制器100将这样生成的打印日志Lg输出到作为诊断支持设备的外部终端700。

(创建各个设置的具体过程)

图8示出了图7中的步骤S1的具体处理。

首先，在步骤S11中，内置在激光标记器L中的同轴照相机6或全体照相机7生成包括打印区域R1的至少一部分的拍摄图像Pw。由同轴照相机6或全体照相机7生成的拍摄图像Pw被输出到操作终端800。

操作终端800的显示部801显示与打印区域R1相关联的设置面R4，并且还在设置面R4上显示拍摄图像Pw(参见图9和10)。

结果，显示部801中的设置面R4上定义的坐标系(打印坐标系)和拍摄图像Pw上定义的坐标系(照相机坐标系)可以彼此相关联。例如，用户可以通过在观看拍摄图像Pw的同时指定打印点，通过设置面R4在打印区域R1上进行打印。拍摄图像Pw用作通过设置面R4进行各种设置时的背景图像。

在随后的步骤S12中，设置部107设置打印条件。设置部107通过读取条件设置存储部102等中的存储内容，或者通过读取经由操作终端800的操作输入等来设置打印条件。

作为打印条件的示例，设置部107在工件W的表面上设置指示要在打印区域R1中形成的打印内容的打印图案(标记图案)Pm。打印图案Pm的设置经由设置面R4执行。

打印条件不仅包括作为标记图案的打印图案Pm，而且包括指示该打印图案Pm的位置的打印块B。打印块B可以用于调整打印图案Pm的布局、大小或旋转姿态等。此外，打印块B与稍后描述的距离测量位置I相关联地使用。

显示部801可以将打印图案Pm和打印块B显示为与拍摄图像Pw重叠。例如，在图10中，在工件W的表面上，包括字符串“123”的打印图案Pm和围绕打印图案Pm的矩形打印块B被布置在设置面R4上。显示部801将以这种方式布置的打印图案Pm和打印块B显示为与拍摄图像Pw重叠。

尽管未示出，但是多个工件W可以显示在设置面R4上，并且也可以如图10所示，仅显示一个工件W。此外，多个打印块B可以布置在一个工件W上。关于打印图案Pm，也可以使用除字符串之外的图案，诸如条形码和QR码等。

回到图8中的步骤S12，例如，用户在同一步骤中手动创建打印块B并将该打印块B布置在设置面R4上。由于设置面R4和拍摄图像Pw如上所述彼此相关联，因此用户可以在视觉辨别拍摄图像Pw的同时布置打印块B。

当一个或多个打印块B以这种方式布置时，用户确定每个打印块B的打印图案Pm。例如，当用户操作操作部802并且操作部802基于当时的操作输入将打印图案Pm输入到标记器控制器100时，确定打印图案Pm。

设置部107读取这样布置的打印块B和针对每个打印块B确定的打印图案Pm，以设置为打印条件。根据该实施例的设置部107在条件设置存储部102等中临时或持续存储设置面R4上的打印块B的坐标(打印坐标系中的坐标)等。

打印条件还包括与打印激光相关的条件(以下称为“激光条件”)。这些激光条件包括打印激光的发射位置、打印激光的目标输出(激光功率)、激光扫描部4对打印激光的扫描速度、打印激光的重复频率(脉冲频率)、打印的激光斑是否是可变激光(光斑可变性)以及打印激光跟踪打印图案Pm的次数(打印次数)中的至少一个。如图10右下角显示的菜单D1所示，这样的打印条件可以针对每个打印块B来设置。

通常，在操作生产线时要顺次处理的各个工件W中，在X方向和Y方向(XY方向)上发生未对准。根据该实施例的激光标记器L可以使用各种方法来校正这样的未对准。

因此，在步骤S12之后的步骤S13中，设置部107创建条件设置(搜索设置)以校正XY方向上的未对准。根据该实施例的激光标记器L可以例如使用图案搜索作为用于校正XY方向上的未对准的方法。

在使用图案搜索的情况下，设置部107将用于识别工件W的位置的图案区域(未示出)和被定义为拍摄图像Pw上的图案区域(未示出)的移动范围的搜索区域(未示出)设置为与图案搜索相关的条件(搜索条件)。

由标记器控制器100设置的搜索条件被存储在条件设置存储部102等中作为搜索设置。当搜索设置的创建完成时，控制处理从步骤S13进入步骤S14。

通常，在操作生产线时要顺次处理的各个工件W中，在Z方向上发生未对准。这样的未对准导致打印激光的焦点位置偏移，这是不期望的。根据该实施例的激光标记器L包括距离测量单元5，因此可以基于到工件W的表面的距离来检测Z方向上的未对准。结果，可以校正Z方向上的未对准，并且进一步校正焦点位置的偏移。因此，在步骤S13之后的步骤S14中，创建用于校正Z方向上的未对准的条件设置(距离测量设置)。

具体地，在步骤S14中，确定与距离测量单元5相关的条件(距离测量条件)。根据该实施例的设置部107在拍摄图像Pw上至少设置距离测量位置I作为距离测量条件(参见图10中的星形标记)，该距离测量位置用于测量从标记器头1特别是从壳体10到工件W的表面的距离。距离测量位置I基本上被设置为与工件W的表面重叠，并且指示距离测量光需要发射到的坐标。

当设置多个打印块B时，设置部107可以设置针对每个打印块B的距离测量条件。在这种情况下，设置部107可以在各个打印块B内设置距离测量位置I(参见图10中的星形标记)。代替地，设置部107也可以在各个打印块B外设置距离测量位置I。

由设置部107设置的距离测量条件被存储在条件设置存储部102等中作为距离测量设置。当距离测量设置的创建完成时，控制处理从步骤S14进入步骤S15并返回。

(打印的执行)

图11示出了图7的步骤S3中的具体处理。也就是说，针对在操作生产线时经过的各个工件W顺次执行图11所示的处理。

首先，在图11所示的各个步骤之前，如参考图7中的步骤S1和图8中的步骤S11至S15所述，标记器控制器100预先针对预定工件W来创建诸如打印图案Pm和打印块B等的设置(打印设置)、诸如图案图像等的设置(搜索设置)、以及诸如距离测量位置I等的设置(距离测量设置)。

当各个设置的创建完成时，标记器控制器100处于能够执行图11所示的控制处理的状态。该控制处理包括被配置为执行XY跟踪(检测XY方向上的未对准)和Z跟踪(测量Z方向上的高度)的控制处理(步骤S31至S33)以及被配置为执行反映XY跟踪和Z跟踪的打印并存储其打印结果的控制处理(步骤S34至S39)，作为主要处理。

首先，在图11的步骤S31中，从PLC 902等向标记器控制器100输入触发。此时，输送与用于包括距离测量设置的各种设置的工件W相同类型的工件W。当触发被输入到标记器控制器100时，标记器控制器100在打印日志Lg中写入打印序列已经开始这一事实。当写入打印日志Lg时，可以添加用于区分打印序列的序列号，例如，如图12中的附图标记N1和N2所示。

在步骤S31，标记器控制器100经由同轴照相机6或全体照相机7拍摄相同类型的工件W的图像，以生成拍摄图像(照相机图像)Pw。标记器控制器100将所生成的拍摄图像Pw显示为与设置面R4重叠。此时，标记器控制器100设置文件路径作为“打印前照相机图像文件路径”，该文件路径被配置为将打印前的工件W与通过拍摄工件W的图像而生成的拍摄图像Pw相关联。标记器控制器100针对每个打印序列在打印日志Lg中写入以这种方式设置的文件路径(参见图12)。

在随后的步骤S32中，标记器控制器100读取要搜索的各个打印块B的搜索设置(搜索条件)，并基于搜索设置来执行使用图案搜索的XY跟踪。该处理由图像处理部104执行。

具体地，在步骤S32中，图像处理部104对拍摄图像Pw执行图案搜索。结果，图像处理部104可以识别在沿着打印区域R1观察时(即，当沿着XY平面观察时)工件W在拍摄图像Pw上的位置。注意，这里所指的工件W的位置是作为执行XY跟踪的对象的工件W相对于用于创建搜索设置的工件W的相对位置。该相对位置仅仅是工件W在XY方向上的未对准。

当图像处理部104以这种方式执行XY跟踪时，检测到用于创建打印设置、搜索设置和距离测量设置的工件W与在操作期间新输送的工件W’之间在XY方向上的未对准。此时，标记器控制器100将工件W在XY方向上的未对准量针对每个打印序列写入文本日志Lg中作为“XY跟踪结果”(参见图12)。

在步骤S32中，标记器控制器100读取被设置为距离测量对象的各个打印块B的距离测量设置(距离测量条件)，并且还基于距离测量设置来执行使用距离测量单元5的Z跟踪。具体地，在步骤S32中，距离测量部103操作距离测量单元5来测量从标记器头1到距离测量位置I的距离，并且进一步测量距离测量位置I处的工件W的高度。此时，标记器控制器100将工件W的测量高度针对每个打印序列写入文本日志Lg中作为“Z跟踪结果”(参见图12)。

在步骤S32中，标记器控制器100基于XY方向上的未对准的检测结果来校正工件W在XY方向上的未对准。具体地，标记器控制器100校正打印块B在设置面R4上的位置，以减少工件W在XY方向上的未对准。

在步骤S32中，标记器控制器100基于工件W的高度的测量结果来校正工件W在Z方向上的未对准。具体地，标记器控制器100基于工件W在Z方向上的未对准来校正打印激光的焦点位置。

以这种方式，在步骤S32中，针对随着生产线的操作而输送的各个工件W，校正打印块B在XYZ方向上的未对准。

在随后的步骤S33中，标记器控制器100确定打印图案Pm的细节。步骤S33中确定的信息包括生产日期、截止日期、批号、计数值以及在实际操作期间固定的信息(特别是触发输入后的定时)。

此外，根据该实施例的激光标记器L具有允许用户确认由标记器头1形成的打印图案Pm的功能以及判断打印图案Pm的合格/不合格的功能。

为了实现这些功能，需要通过同轴照相机6或全体照相机7拍摄实际形成的打印图案Pm的图像。特别地，需要生成至少包括整个打印图案Pm的拍摄图像Pw，以判断打印图案Pm的合格/不合格。为了拍摄整个打印图案Pm的图像，至少需要如下指标，该指标指示需要拍摄的区域。

因此，在步骤S33之后的步骤S34中，标记器控制器100设置指示需要拍摄的区域的摄像区域。具体地，标记器控制器100在工件W的表面上定义包括打印图案Pm的摄像区域。标记器控制器100还设置这样定义的摄像区域的位置和大小，并且将其临时或持续存储在条件设置存储部102中。

在步骤S34之后的步骤S35中，标记器控制器100利用标记器头1执行打印。当执行打印时，在步骤S33中详细确定的打印图案Pm形成在要标记的工件W的表面上。

然后，在步骤S35之后的步骤S36中，标记器控制器100选择同轴照相机6和全体照相机7中的一个，并使用这样选择的照相机来拍摄上述摄像区域。结果，获取包括整个打印图案Pm的拍摄图像Pw。此时，标记器控制器100设置作为“打印后照相机图像文件路径”的文件路径，该文件路径被配置为将打印后的工件W与通过拍摄工件W的图像而生成的拍摄图像Pw相关联。标记器控制器100将以这种方式设置的文件路径针对每个打印序列写入打印日志Lg中(参见图12)。

接着，在步骤S36之后的步骤S37中，标记器控制器100使用在步骤S36中获取的拍摄图像Pw来判断应用于工件W的打印的合格/不合格。

具体地，在步骤S37中，合格/不合格判断部105基于在工件W的表面上形成的打印图案Pm来判断为打印质量是良好的(OK判断)或者判断为打印质量是差的(NG判断)。这些判断可以根据打印图案Pm的类型使用各种方法来执行。

例如，在将二维码(诸如QR码等)标记为打印图案Pm的情况下，合格/不合格判断部105使用由自动识别制造商(AIM)建立的打印质量评价标准(AIM DPM)来评价质量。在该评价标准中，总体等级从高评价侧起依次定义为从“A”至“F”的六个阶段，并且随着总体等级的增加，打印质量被评价得越高。条件设置存储部102将总体等级“A”至“F”中的一个分配给各个打印图案Pm。

此外，条件设置存储部102预先存储总体等级的阈值(阈值等级)，其定义了OK判断与NG判断之间的边界。合格/不合格判断部105将阈值排名与分配给各个打印图案Pm的总体等级进行比较，以针对每个打印图案Pm做出OK判断或NG判断。例如，当阈值排名被设置为“C”时，合格/不合格判断部105对分配了总体等级“A”或“B”的打印图案Pm做出OK判断，并且对分配了总体等级“C”、“D”、“E”或“F”的打印图案Pm做出NG判断。

另一方面，在将字符串标记为打印图案Pm的情况下，合格/不合格判断部105基于拍摄图像Pw之间的差异来评价各个打印图案Pm的合格/不合格。具体地，例如，合格/不合格判断部105针对每个打印序列生成打印之前紧挨着生成的拍摄图像Pw与打印之后紧接着生成的拍摄图像Pw之间的差异图像。接着，合格/不合格判断部105通过计算差异图像与由打印设置生成的打印图像(打印图案Pm的设置图像)之间的差异来计算分数(下文中，称为“打印分数”)。在差异图像与打印图像之间的差异大的情况下，打印分数小于在差异小的情况下的分数(较低的评价)。在该实施例中，打印分数被计算为在0与100之间。

此外，在条件设置存储部102中，预先定义了用于定义OK判断与NG判断之间的边界的打印分数阈值(阈值分数)。合格/不合格判断部105通过将阈值分数与关于各个打印图案Pm的打印分数进行比较，来针对每个打印图案Pm进行OK判断或NG判断。例如，当阈值分数设置为“50”时，合格/不合格判断部105针对计算出超过50的打印分数的打印图案Pm做出OK判断，并且针对计算出50或更少的打印分数的打印图案Pm做出NG判断。

注意，条件设置存储部102也可以通过组合多个类型的判断方法来执行。例如，在将二维码标记为打印图案Pm的情况下，合格/不合格判断部105执行使用总体等级的判断和使用打印分数的判断这两者。在这种情况下，当总体等级为“C”、“D”、“E”或“F”时，或者当打印分数为50或更少时，合格/不合格判断部105做出NG判断。

在步骤S37中，标记器控制器100针对每个打印序列在打印日志Lg中写入各个工件的合格/不合格判断结果作为“打印确认结果”(参见图12)。这里，标记器控制器100可以在打印日志Lg中写入上述总体等级和/或打印分数，或者在打印日志Lg中仅写入指示OK判断或NG判断的信息，作为合格/不合格判断结果。

接着，在步骤S37之后的步骤S38中，标记器控制器100从距离测量单元5发射距离测量光，以检测透光窗口19上的污染。该处理由污染检测部106执行。

具体地，污染检测部106从距离测量光接收部5B接收的距离测量光中识别由来自透光窗口19的反射光引起的距离测量光，以检测透光窗口19上的污染。

如上所述，透光窗口19固定到壳体10。因此，透光窗口19和距离测量光发射部5A之间的光路长度是已知的。由于光路长度是已知的，因此可以预先估计由透光窗口19的表面反射的距离测量光在一对光接收元件56L和56R的光接收面上具有峰的位置。污染检测部106通过监视估计为具有峰的光接收位置处的光接收状态(例如，光接收量)来检测透光窗口19上的污染程度。该检测结果(污染程度)针对每个打印序列写入打印日志Lg中作为“打印后窗口监视结果”。

接着，在步骤S38之后的步骤S39中，标记器控制器100使用功率监视器21c检测打印激光的输出。该检测结果针对每个打印序列写入打印日志Lg中作为“激光功率”。

当所有工件W上的打印完成时，标记器控制器100结束步骤S3的处理，并开始步骤S4的处理。

(打印日志的输出)

在步骤S4中，标记器控制器100将打印日志Lg输入到外部终端700。每次输入触发时，打印日志Lg都会被分组。由于如上所述，每次输入触发时打印序列开始，因此可以针对每个工件W划分状态信息，并以这样的分组按时间序列顺序来布置这些状态信息。在图12所示的示例中，打印日志Lg包括与第一打印序列相对应的组G1和与第二打印序列相对应的组G2。

另外，打印日志Lg可以通过上述“打印确认结果”、“打印后照相机图像文件路径”和诸如“XY跟踪结果”等的状态信息，将关于各个打印的合格/不合格判断结果、用于获取各个判断结果的拍摄图像Pw以及获取各个判断结果时的多个类型的状态信息彼此相关联。

这里，“状态信息”是指用于指示激光标记器L的状态的信息。多个类型的状态信息可以包括由图像处理部104识别的工件W的位置(XY跟踪结果)、由距离测量单元5测量的到工件W的距离(Z跟踪结果)、在进行打印之后由污染检测部106检测到的污染(打印后窗口监视结果)以及由功率监视器21c检测到的打印激光的输出(激光功率结果)中的至少一个或多个。在图12所示的示例中，多个状态信息包括所有这些信息。

以这种方式，打印日志Lg被配置为处于如下状态：对多个工件W上执行打印时各个打印的合格/不合格判断结果、用于获取各个判断结果的拍摄图像Pw以及在获取各个判断结果时的多个类型的状态信息彼此相关联并且以时间序列顺序布置。打印日志Lg是本实施例中的“历史信息”的示例。

外部终端700基于从标记器控制器100输入的打印日志Lg来支持激光标记器L的诊断。在下文中，将详细描述作为诊断支持设备的外部终端700的配置。

<诊断支持设备>

图13是示出外部终端(诊断支持设备)700的示意性配置的框图。图14是示出诊断支持方法的具体过程的流程图。此外，图15A是示出打印缺陷的症状的选择画面Sc1的图。图15B是示出打印缺陷发生的日期和时间的指定画面Sc2的图。图15C是示出打印缺陷的诊断画面Sc3的图。图15D是示出打印缺陷的诊断画面Sc4的图。图15E是示出打印缺陷的诊断画面Sc5的图。图15F是示出用于解决打印缺陷的对策画面Sc6的图。图16是示出打印缺陷的原因与显示优先级顺序之间的关系的示例的表。

(外部终端700)

外部终端700使用例如个人计算机来配置，并且以有线或无线方式连接到标记器控制器100。外部终端700用作诊断支持设备，该诊断支持设备被配置为通过执行稍后描述的诊断支持方法来支持对在工件W上发生的打印缺陷的诊断。

具体地，外部终端700接收用以选择打印缺陷的具体症状的操作，并且根据所选择的症状向用户显示打印缺陷的原因，以支持对通过激光标记器l打印期间在工件W上发生的打印缺陷的诊断。

具体地，外部终端700包括：向用户显示信息的显示部701；接收来自用户的操作的接收部702；存储各种类型信息的存储部703；以及至少控制显示部701的控制部704。

其中，显示部701使用例如液晶显示器或有机EL面板来配置。显示部701显示被配置为选择打印缺陷的症状的选择画面Sc1，或者被配置为诊断打印缺陷的诊断画面Sc5。

接收部702使用例如键盘和/或指示装置来配置。这里，指示装置包括鼠标和/或操纵杆。接收部702被配置为接收来自用户的操作输入，并且用于在选择画面Sc1上选择缺陷症状等。

存储部703使用例如硬盘驱动器或固态驱动器作为二级存储设备来配置。存储部703包括将在后面描述的历史存储部703a和对应关系存储部703b作为功能元件。

控制部704具有CPU、存储器和输入/输出总线。控制部704执行各种程序来控制构成外部终端700的各个部(诸如显示部701等)。

此外，外部终端700可以读取存储程序的存储介质705。特别地，根据该实施例的存储介质705存储通过对诊断支持方法进行编程而获得的诊断支持程序。该诊断支持程序由控制部704读取并执行。当控制部704执行诊断支持程序时，外部终端700用作诊断支持设备。

-历史存储部703a-

历史存储部703a存储从激光标记器L发送的打印日志Lg作为历史信息。在至少比打印缺陷的诊断早的定时，历史存储部703a存储打印日志Lg。

此外，历史存储部703a存储由合格/不合格判断部105获得的与已经执行打印的工件W的数量一样多的判断结果。特别地，当实际诊断打印缺陷时，历史存储部703a存储至少包括NG判断结果的多个判断结果。存储在历史存储部703a中的历史信息可以显示在显示部701上。

特别地，根据该实施例的历史存储部703a被配置为不仅存储NG判断结果，而且存储OK判断结果。具体地，根据该实施例的历史存储部703a至少将合格/不合格判断部105获得的判断结果中的多个OK判断结果、用于获取各个OK判断结果的拍摄图像Pw、以及多个状态信息中的获取各个OK判断结果期间的多个状态信息以彼此相关联的状态按时间序列顺序存储为历史信息。该处理可以被视为构成根据该实施例的诊断支持方法的步骤之一。

-对应关系存储部703b-

对应关系存储部703b存储指示工件W上发生的打印缺陷的状态的状态项与作为与该状态项相对应的打印缺陷的原因候选的多个原因参数之间的对应关系以及多个原因参数的显示优先级顺序。

这里，“状态项”指示打印缺陷的症状例如如图15A所示被分类的项。“状态项”可以是用户可感知的项或用户不可感知的项。

与前者相对应的状态项的示例包括诸如“未打印”、“打印不充分”、“打印暗、打印亮、打印不均匀”、“打印被干扰”、“打印内容不正确”和“打印位置未对准”等的症状。与后者相对应的状态项包括指示诸如“总体等级和打印分数等低”等的症状的项。

此外，“原因参数”针对各个状态项表示指示导致打印缺陷的可能性的参数。作为原因参数，例如，可以使用激光标记器L的状态信息。设置至少两个或更多个原因参数。

具体地，如图16所示，根据该实施例的原因参数包括由功率监视器21c检测的激光的输出(激光功率)、由污染检测部106检测的透光窗口19的污染(窗口检查)、由距离测量单元5测量的到工件W的距离(Z跟踪结果)以及由图像处理部104识别的工件W的位置(XY跟踪结果)。这些参数的值可以从存储在历史存储部703a中的打印日志Lg中读取。例如，激光功率的值与图12中的“激光功率结果”的值相对应，并且窗口检查的值与图12中的“打印后窗口检查结果”的值相对应。

可以说，这四个原因参数是表征打印缺陷原因的参数，而不是指示原因本身。从这个意义上说，这些原因参数可以视为指示“表面原因”的参数。另外，在四个原因参数中，判断激光功率和窗口检查，使得激光标记器L本身是打印缺陷的原因，并且判断Z跟踪结果和XY跟踪结果，使得除了激光标记器L之外的原因(诸如工件W的输送装置、工件W的夹具和工件W本身的形状等)导致了打印缺陷。

此外，根据该实施例的原因参数不仅包括随时间变化的参数(诸如激光功率等)，而且包括指示是否发生特定事件的参数，例如，“打印设置是否改变”以及“异物是否反映在拍摄图像Pw中”等。

例如，如图16所示，后一种类型的参数包括“是否发生特定事件(事件日志)”、“作业编号是否错误(错误的作业编号)”、“打印设置是否改变(设置内容改变)”、“在打印期间拍摄图像Pw是否未对准(照相机图像：在打印期间未对准)”、“照相机或照明等的使用状态是否波动(诸如拍摄图像Pw的亮度波动等)(照相机图像：照明/照相机波动)”、“异物或遮蔽物等是否反映在拍摄图像Pw中(照相机图像：异物/遮蔽物)”以及“是否发生其它事件(诸如打印激光的断电等)(其它)”等。

可以说，这七个原因参数是指示打印缺陷本身原因的参数，或者与原因密切相关的参数。从这个意义上说，这些原因参数可以视为表示“根本原因”的参数。此外，在七个原因参数中，判断事件日志、错误作业编号和设置内容改变，使得打印缺陷的原因是用户的操作错误或PLC 902的操作等，并且判断其它四个原因参数，使得打印缺陷是由于其它环境原因导致的。

各个状态项与多个原因参数相关联。如稍后将描述的，当用户将打印缺陷的症状指定为状态项时，作为诊断支持设备的外部终端700显示与症状相对应的原因参数。

因此，对应关系存储部703b至少存储是否在显示部701上显示多个原因参数中的每一个，作为各个状态项与多个原因参数之间的对应关系。

也就是说，被认为与症状具有强相关的原因参数被显示在显示部701上以指示用户。另一方面，被认为与症状具有弱相关的原因参数不显示在显示部701上，以不指示用户。结果，可以从诊断对象中排除不必要的原因参数，因此，可以在诊断打印缺陷时提高可用性。

具体地，作为状态项的示例，考虑关注于“打印位置未对准”的情况。直觉上认为，这种症状与XY跟踪有强相关，而与激光功率具有弱相关。因此，对应关系存储部703b将XY跟踪的关系设置为要在显示部701上显示并且将激光功率的关系设置为不在显示部701上显示(也参见图16)，作为症状“打印位置未对准”与多个原因参数之间的对应关系。

此外，对应关系存储部703b存储在显示部701上显示多个原因参数中的各个时的优先级顺序(显示优先级顺序)以及上述对应关系。

例如，在需要显示在显示部701上的原因参数中，被认为与症状具有相对强相关的原因参数优先于被认为具有相对弱相关的原因参数显示在显示部701上。结果，可以优先显示更重要的原因参数，使得可以在诊断打印缺陷时提高可用性。

此外，设置至少两个或更多个状态项。因此，准备与状态项相对应的至少两组或更多组多个原因参数。

换句话说，根据该实施例的对应关系存储部703b可以存储第一状态项与多个第一原因参数之间的对应关系以及多个第一原因参数的显示优先级顺序，其中多个第一原因参数是与第一状态项相对应的打印缺陷的原因的候选；同时，存储指示与第一状态项不同的状态的第二状态项和多个第二原因参数之间的对应关系以及多个第二原因参数的显示优先级，其中多个第二原因参数是与第二状态项相对应的打印缺陷的原因的候选。

在下文中，将使用具体示例来描述诊断支持方法的细节。

(诊断支持方法)

诊断支持方法被配置为用于使外部终端700执行上述诊断支持程序的方法。当该诊断支持方法开始时，顺次执行图14所示的各个步骤。

首先，在图14的步骤S101中，显示部701显示指示工件W上的打印缺陷的状态的两个或更多个状态项。具体地，在步骤S101中，显示部701至少显示第一状态项和指示与第一状态项不同的状态的第二状态项。结果，打印缺陷的症状(状态项)的列表显示在显示部701上。

图15A示出了显示在显示部701上的选择画面Sc1。在该选择画面Sc1上，指示症状“没有打印”的状态项B1、指示症状“打印不充分”的状态项B2、指示症状“打印暗、打印亮或打印不均匀”的状态项B3、指示症状“打印被干扰”的状态项B4、指示症状“打印内容错误”的状态项B5、指示症状“打印位置未对准”的状态项B6以及指示症状“打印评价值低(总体等级或打印分数等低)”的状态项B7被显示为状态项。

在随后的步骤S102中，用户利用接收部702选择工件W中发生的打印缺陷的症状。具体地，在步骤S102中，接收部702接收用于选择显示在显示部701上的两个或更多个状态项中的至少一个的操作。具体地，在步骤S102中，接收部702接收用于选择包括第一状态项和第二状态项的两个或更多个状态项中的至少一个的操作。更具体地，在步骤S102中，用户操作接收部702从状态项B1至B7中选择与工件W中发生的症状相对应的状态项。

在图15A所示的示例中，可以通过点击选择画面Sc1上列出的状态项B1至B7中的任何一个来选择期望的状态项。当在已选择状态项的状态下点击被描述为“下一步”的按钮B8时，在显示部701上切换显示内容。这里，假设选择了症状“打印不充分”来继续描述。

在随后的步骤S103中，控制部704基于在步骤S102中选择的症状(状态项)来确定显示各个原因参数的必要性和/或显示期间的优先级顺序。具体地，在步骤S103中，控制部704基于在步骤S102中选择的状态项和对应关系存储部703b中存储的内容，使多个原因参数的显示优先级顺序在通过接收部702选择第一状态项的情况和选择不同于第一状态项的第二状态项的情况之间不同。更具体地，控制部704使构成多个第一原因参数的各个原因参数的显示优先级顺序与构成多个第二原因参数的各个原因参数的显示优先级顺序不同。换句话说，控制部704可以针对各个状态项而改变在显示部701上显示各个原因参数时的显示顺序。

在步骤S103中，除了或代替如上所述的改变显示优先级顺序的控制，控制部704使需要在显示部701上显示的多个原因参数的组合在通过接收部702选择第一状态项的情况和选择第二状态项的情况之间不同。更具体地，控制部704使需要在显示部701上显示的原因参数的组合在构成多个第一原因参数和多个第二原因参数的所有原因参数中至少部分不同。换句话说，控制部704可以针对每个状态项改变例如上述对应关系。

特别地，根据该实施例的控制部704被配置为执行用于改变显示优先级顺序的控制和用于改变需要在显示部701上显示的原因参数的配置的控制这两者。

以这种方式，根据该实施例的控制部704可以针对每个状态项改变与该状态项相对应的原因参数的显示优先级顺序，并且针对每个状态项改变是否在显示部701上显示各个原因参数(例如，对应关系)。

图16示出了各个原因参数、其对应关系以及与其相对应的显示优先级顺序。这里，字母“A”、“B”和“C”指示要显示在显示部701上的原因参数，并且符号“x”指示不显示在显示部701上的原因参数。此外，字母“A”、“B”和“C”以字母顺序指示更高显示优先级顺序。

例如，当选择“打印被干扰”作为状态项时，控制部704不在显示部701上显示激光功率和窗口检查，而是优先显示Z跟踪和XY跟踪。特别地，根据该实施例的控制部704将在被分类为“表面原因”的状态项和被分类为“根本原因”的状态项之间的被分类为“表面原因”的状态项优先显示在显示部701上。在步骤S106的描述中将说明具体的显示内容。

在随后的步骤S104中，显示部701以时间序列顺序显示打印的合格/不合格判断结果以及拍摄图像Pw和打印分数。具体地，在步骤S104中，显示部701显示第一显示区域Rc1和第二显示区域Rc2中的至少一个，其中第一显示区域以时间序列顺序显示存储在历史存储部703a中的多个判断结果(合格/不合格判断结果)，第二显示区域以时间序列顺序显示分别与显示在第一显示区域Rc1中的多个判断结果相对应的拍摄图像Pw。

图15B示出了打印缺陷发生的日期和时间的指定画面Sc2的示例。如图所示，根据该实施例的显示部701可以同时显示第一显示区域Rc1和第二显示区域Rc2这两者。在图15B所示的示例中，第一显示区域Rc1显示指示以时间序列顺序进行了打印序列的多个竖条。在第一显示区域Rc1中显示的竖条中，由交替的长虚线和短虚线显示的竖条指示打印良好的判断结果(OK判断结果)，并且由实线显示的具有标记Mn的竖条指示发生打印缺陷的判断结果(NG判断结果)。在该示例中，对在12：00左右执行的倒数第二个打印序列的判断结果做出NG判断。

在图15B所示的示例中，第二显示区域Rc2从左侧起以时间序列顺序显示与各个判断结果相对应的拍摄图像Pw。这里，显示在多次进行的打印序列中的最后五个打印序列中生成的拍摄图像Pw。各个拍摄图像Pw例示了采用字符串“ABC”作为打印图案Pm的情况。此外，将在判断打印合格/不合格时计算的打印分数显示在各个拍摄图像Pw的显示区域(正方形区域)的右上角附近。

这里，在五个拍摄图像Pw中，与倒数第二个拍摄图像Pw相对应的判断结果是如上所述的NG判断。为了支持该判断结果，在倒数第二个拍摄图像Pw中显示小于50的打印分数“46”和指示NG判断的字符串“NG”。以这种方式，将附加了字符串“NG”的拍摄图像Pw与NG判断结果相关联。另一方面，将没有被分配字符串“NG”的拍摄图像Pw与OK判断结果相关联。

这里，当经由接收部702选择第一显示区域Rc1中的任何判断结果时，也在第二显示区域Rc2中选择与所选择的判断结果相关联的拍摄图像Pw。相反，当选择第二显示区域Rc2中的任何拍摄图像Pw时，也在第一显示区域Rc1中选择与所选择的拍摄图像Pw相关联的判断结果。

以这种方式，根据该实施例的诊断支持设备被配置为使得第一显示区域Rc1中的操作输入与第二显示区域Rc2中的操作输入彼此链接。

在图15B所示的示例中，第一显示区域Rc1布置在第二显示区域Rc2上方。此外，被配置为设置第一显示区域Rc1中的判断结果的提取时间段的第三显示区域Rc3显示在第一显示区域Rc1上方。当在第三显示区域Rc3中的日期和时间指定栏C1以及时间指定栏C2中输入期望的数值时，可以设置判断结果的提取时间段。

通过改变判断结果的提取时间段来改变第一显示区域Rc1中的显示内容。控制部704可以改变第二显示区域Rc2中的显示内容，以与该改变相链接。具体地，控制部704改变第二显示区域Rc2中的显示内容，以显示与第一显示区域Rc1中的改变后的判断结果相对应的拍摄图像Pw。

另一方面，被配置为改变要显示的拍摄图像Pw的按钮Bb1和Bb2显示在第二显示区域Rc2中。例如，当点击按钮Bb1时，要显示的拍摄图像Pw的摄像定时可以追溯到过去，以改变第二显示区域Rc2中的显示内容。此外，当点击按钮Bb2时，要显示的拍摄图像Pw的摄像定时可以在与点击按钮Bb1的情况相反的方向上改变。控制部704可以改变第一显示区域Rc1中的显示内容，以与这些改变相链接。具体地，控制部704改变第一显示区域Rc1中的显示内容，以显示与第二显示区域Rc2中的拍摄图像Pw相对应的判断结果。

以这种方式，根据该实施例的控制部704可以控制显示部701，使得与第一显示区域Rc1和第二显示区域Rc2之一的显示内容的改变连动地改变另一显示内容。注意，这里所指的显示内容包括伴随判断结果或拍摄图像Pw的选择的显示变化。

另一方面，如上所述，使用第一显示区域Rc1和第二显示区域Rc2中的第一显示区域Rc1中的竖条的显示模式来示出合格/不合格判断部105获得的判断结果。然而，即使合格/不合格判断部105判断为“打印良好”，当用户从视觉上辨别拍摄图像Pw时，也可能发现打印缺陷(没有出现在总体等级和打印分数中的打印缺陷)。

因此，根据该实施例的接收部702被配置为接收用于校正合格/不合格判断部105获得的判断结果的操作。当经由接收部702校正判断结果时，控制部704控制显示部701，使得反映经由接收部702的校正。

具体地，接收部702可以通过对第二显示区域Rc2中的拍摄图像Pw的点击操作，将OK判断改变为NG判断或者将NG判断改变为OK判断(参见图20)。这样的改变后的内容被适当地反映在第一显示区域Rc1和第二显示区域Rc2中的显示模式中。

在随后的步骤S105中，用户使用接收部702选择打印的合格/不合格判断结果或与各个打印相关联的拍摄图像Pw。如上所述，各个判断结果和拍摄图像Pw以打印序列为单位进行分组。因此，通过选择判断结果或拍摄图像Pw来指定打印缺陷发生的日期和时间(参见粗框Fn)。具体地，在步骤S105中，接收部702接收用于选择显示在第一显示区域Rc1中的NG判断结果或与NG判断结果相对应并显示在第二显示区域Rc2中的拍摄图像Pw中的一个或多个的操作。

换句话说，根据该实施例的接收部702接收用于选择多个NG判断结果或选择多个拍摄图像Pw的操作。在这种情况下，打印缺陷发生的日期和时间被指定为“打印缺陷发生时间段”，其包括多次选择的判断结果或拍摄图像Pw。

在随后的步骤S106中，显示部701以通过在步骤S105中选择NG判断结果或拍摄图像Pw所指定的发生日期和时间为中心显示激光标记器L的状态信息。具体地，在步骤S106中，控制部704控制显示部701，使得在多个类型的状态信息(在该实施例中，上述多个原因参数)中，至少将与经由接收部702选择的NG判断结果或拍摄图像Pw相关联的状态信息显示在显示部701上。与步骤S106相关的处理可以通过例如点击描述句子“开始诊断”的按钮来开始，或者可以在没有这种操作的情况下自动开始。

当控制部704经由接收部702指定了NG判断结果或拍摄图像Pw时，针对多个类型状态信息中的至少一个类型，多个状态信息以时间序列顺序显示在显示部701上。具体地，当NG判断结果或拍摄图像Pw被多次选择时，控制部704可以以时间序列顺序显示与各个NG判断结果或拍摄图像Pw相关联的多个状态信息。然而，该方法难以应对仅选择一个NG判断结果或一个拍摄图像Pw的情况。

因此，根据该实施例的显示部801可以并排显示与除了所选择的NG判断结果或拍摄图像Pw之外的判断结果或拍摄图像Pw相关联的状态信息以及与所选择的NG判断结果或拍摄图像Pw相关联的状态信息。具体地，在步骤S106中，控制部704控制显示部701，使得在多个类型的状态信息中，与除了经由接收部702指定的NG判断结果之外的判断结果相关联的状态信息或者与除了经由接收部702指定的拍摄图像Pw之外的拍摄图像Pw相关联的状态信息显示在显示部701上。

特别地，在该实施例中，显示部701显示多个原因参数作为多个类型的状态信息。在这种情况下，作为诊断支持设备的外部终端700被配置为根据如上所述的打印缺陷的症状来改变原因参数的显示顺序和显示的必要性。

具体地，在步骤S106中，控制部704可以以在步骤S103中确定的显示优先级顺序在显示部701上显示原因参数，或者基于在步骤S103中确定的组合在显示部701上显示原因参数。

图15C示出了打印缺陷的诊断画面Sc3。该诊断画面Sc3在从指定画面Sc2切换之后紧接着显示，并且是被配置为诊断第一原因参数的画面。在诊断画面Sc3的左侧，显示原因列表Lt，其中根据显示优先级顺序从顶部起排列多个原因参数。

如上所述，诸如窗口检查等的被分类为“根本原因”的四个原因参数的显示优先级顺序高于诸如事件日志等的被分类为“表面原因”的多个原因参数的显示优先级顺序。此外，被分类为“根本原因”的原因参数的显示优先级顺序是基于图16所示的表来确定的。如图16所示，当选择“打印不充分”作为状态项时，窗口检查以最高优先级显示，其次是激光功率和XY跟踪，然后是Z跟踪。

具体地，控制部704基于历史存储部703a中的存储内容，使显示部701显示原因参数作为状态信息。在图15C所示的示例中，作为需要以最高优先级显示的原因参数的窗口检查随时间的变化被显示在布置在画面中心的图形显示区域Rc4中(参见原因列表Lt中的白色部分)。

具体地，在图15C所示的图形显示区域Rc4中，显示连接各个窗口检查的值的线形图，以示出作为原因参数的窗口检查随时间的变化。与窗口检查值大的情况相比，当窗口检查值小时，可以判断为透光窗口19被污染得更多。此外，图形显示区域Rc4中的标记Mn指示如上所述做出了NG判断结果的打印序列。如标记Mn所指示的，与其它定时相比，窗口检查值在做出NG判断结果的打印序列中波动很大。

在随后的步骤S107中，用户基于原因参数随时间的变化来诊断打印缺陷。此时，根据该实施例的诊断支持方法能够以与用户交互的形式支持打印缺陷的诊断。

具体地，如图15C所示，在图形显示区域Rc4上方显示被配置为与用户交互的交互区域Rc5。该交互区域Rc5显示询问在图形显示区域Rc4中显示的原因参数随时间的变化是否表现出特定行为(具体地，所显示的原因参数异常时的行为)的问题、当判断为具有特定行为时被点击的项By“是”、当判断为不具有这种行为时被点击的项Bn“否”、以及当难以判断是否表现出这种行为时被点击的项Bi“我不知道”。

换句话说，当判断为显示在图形显示区域Rc4中的原因参数触发表征打印缺陷的症状时，选择项By“是”。当判断为图形显示区域Rc4中显示的原因参数没有触发表征打印缺陷的症状时，选择项Bn“否”。当判断为显示在图形显示区域Rc4中的原因参数可能与表征打印缺陷的症状相关时，选择项Bi“我不知道”。

在图中的示例中，窗口检查的结果在做出NG判断结果的定时(标记Mn被附加的定时)波动很大。在这种情况下，用户点击项By“是”。

控制部704对被判断为要显示在显示部701上的所有原因参数重复步骤S106和步骤S107。例如，图15D示出了被配置为诊断第三原因参数的诊断画面Sc4。诊断画面Sc4示出了作为显示优先顺序低于窗口检查的显示优先顺序的原因参数的Z跟踪随时间的变化。

具体地，通过连接Z跟踪的值(距离测量单元5的测量值)形成的线形图显示在图15D所示的图形显示区域Rc4中。在图中所示的示例中，可以判断为在作出NG判断结果的打印序列中，Z跟踪的结果波动很大。因此，用户点击项By“是”。

另外，当选择“打印不充分”的症状时，控制部704在显示部701上显示被分类为“表面原因”的所有四个原因参数(参见图16)。当被分类为“表面原因”的原因参数的诊断完成时，控制部704开始在显示部701上显示被分类为“根本原因”的原因参数。

例如，图15E示出了被配置为诊断第六原因参数的诊断画面Sc5。诊断画面Sc5示出了事件日志随时间的变化(特定事件的发生是否被写入打印日志Lg)。

在图中所示的示例中，在做出NG判断结果的打印序列中显示指示NG的图。因此，用户点击项By“是”。

尽管显示连接各个原因参数的值的线形图以说明作为到目前为止所示的诊断画面Sc3至Sc5中的状态信息的原因参数随时间的变化，但是说明随时间的变化的显示方法不限于线形图。可以使用线形图、条形图和散点图中的至少一个在显示部701上显示作为状态信息的原因参数随时间的变化。此外，针对各个类型的状态信息，显示方法可以不同。

当用户对原因列表Lt中显示的所有原因参数的诊断完成时，控制部704识别打印缺陷的原因。在图中的示例中，如图15C所示，窗口检查的值波动很大，因此判断为透光窗口19被污染。如图15D所示，Z跟踪的值也波动很大，因此认为工件W的未对准也是原因。可以通过与其它原因参数相关的诊断来判断未对准的细节，诸如在打印期间是否发生了该未对准等。基于在交互区域Rc5中选择了项By“是”或项Bi“我不知道”的原因参数来执行这样的识别。

此后，用户点击显示句子“显示对策”的按钮Bb3。当操作该按钮Bb3时，控制处理从步骤S107进入步骤S108。注意，点击按钮Bb3的操作不是必要的。在用户完成诊断后，可以自动进入步骤S108。

在步骤S108中，显示部701显示在步骤S107中识别的原因和用于解决该原因的对策。例如，图15F示出了对策画面Sc6，以显示通过到目前为止示出(诸如图15C中示出的诊断画面Sc3等)的原因参数所识别的原因以及针对原因参数的对策。如图15F所示，对策画面Sc6示出了被识别为第一原因(原因1)的窗口污染、用于解决污染的对策、被识别为第二原因(原因2)的工件打印期间的未对准以及用于解决未对准的对策中的每一个。

此后，用户点击显示句子“输出报告”的按钮Bb4或显示句子“结束诊断”的按钮Bb5。当操作前一按钮Bb4时，控制处理从步骤S108进入步骤S109。在该步骤S109中，输出指示打印缺陷诊断结果的报告，诸如打印缺陷发生的日期和时间、打印缺陷的原因以及解决原因的对策等。

另一方面，当在步骤S108中操作显示句子“结束诊断”的按钮Bb5时，控制处理跳过步骤S109并结束。

注意，在步骤S108中，点击按钮Bb4或Bb5的操作不是必要的。该报告可以在显示对策画面Sc6的处理的同时自动输出，或者在该处理执行之前或之后的定时自动输出。

(选择多个症状时的处理)

图17是示出当选择多个症状时的显示优先级顺序的图。此外，图18是示出当选择多个症状时的诊断画面Sc7的图。

尽管到目前为止已经示出了选择症状“打印不充分”时的处理，即选择一个状态项时的处理，但是根据本发明的诊断支持方法被配置为允许选择两个或更多个状态项。也就是说，可以从图15A所示的选择画面Sc1上的状态项B1至B7中选择多个状态项。具体地，根据该实施例的接收部702被配置为能够选择第一状态项和第二状态项这两者。

然而，当选择第一状态项和第二状态项这两者时，出现了如何配置显示优先级顺序的问题。为了解决该问题，根据该实施例的控制部704被配置为重置显示优先级顺序，以尊重与第一状态项相对应的显示优先级顺序和与第二状态项相对应的显示优先级顺序这两者。

具体地，当通过接收部702选择第一状态项和第二状态项这两者时，控制部704基于对应关系存储部703b中存储的内容，参考多个第一原因参数的显示优先级顺序和多个第二原因参数的显示优先级顺序之间具有较高顺序的一个，从而在显示部701上显示多个第一原因参数和第二原因参数这两者。

也就是说，当选择第一状态项和第二状态项这两者时，作为与第一状态项相对应的原因候选的多个第一原因参数和作为与第二状态项相对应的原因候选的多个第二原因参数这两者显示在显示部701上。

此时，即使在构成多个第一原因参数的原因参数中，预定参数(例如，“Z跟踪”)的显示优先级顺序低，如果在多个第二原因参数的组中预定参数的显示优先级顺序高，则预定参数的显示优先级顺序被设置为高。

图17示出了当示出症状“打印不充分”的状态项B2被选择作为第一状态项并且示出症状“打印被干扰”的状态项B4被选择作为第二状态项时的处理。

如图17的上部所示，在与第一状态项(打印不充分)相对应的多个第一原因参数中，Z跟踪的显示优先级顺序被设置为如“C”那样低；在与第二状态项(打印被干扰)相对应的多个第二原因参数中，Z跟踪的显示优先级顺序被设置为如“A”那样高。在这种情况下，如图17的中间部分所示，最终显示优先级顺序被设置为具有更高顺序的“A”。

如图17的上部所示，在多个第一原因参数中，窗口检查的显示优先级顺序被设置为如“A”那样高；并且在多个第二原因参数中，窗口检查被设置为“x”，以不在显示部701上显示。在这种情况下，窗口检查被设置为需要显示的原因参数，并且其显示优先级顺序被设置为“A”，如图17的中间部分所示。

当针对所有构成多个第一原因参数的相应原因参数和构成多个第二原因参数的相应原因参数进行这样的处理时，如图17的下部所示，确定最终显示的必要性和显示期间的显示优先级顺序。

图18示出了基于上述确定显示的诊断画面Sc7。如图所示，在选择“打印不充分”和“打印被干扰”的情况下的原因列表Lt’中，原因参数以与图17的下部基本相同的顺序并排显示。

(诊断画面的变形例)

上述实施例中的诊断画面Sc3至Sc6设置有第二显示区域Rc2和图形显示区域Rc4作为用于打印缺陷诊断的信息，其中第二显示区域显示指定打印缺陷发生的日期和时间的拍摄图像Pw，图形显示区域显示作为状态信息的原因参数随时间的变化，但是诊断画面的配置不限于此。

图19是示出诊断画面的变形例的图。除了诸如图形显示区域Rc4等的区域之外，根据该变形例的诊断画面Sc7还设置有条件显示区域Rc6。该条件显示区域Rc6是被配置为显示诸如激光功率、扫描速度和脉冲频率等的激光条件的上述变化的区域。通过参考条件显示区域Rc6来识别打印缺陷的原因是有利的。

(关于可用性的提高)

另一方面，即使使用拍摄图像Pw发现打印缺陷，也难以仅通过从视觉上辨别拍摄图像Pw来识别打印缺陷的原因。如果不能识别原因，则在用于改善症状的设置和措施方面存在问题。

此外，为了用户诊断打印缺陷，需要在视觉上适当地辨别拍摄图像Pw。然而，在存在经过打印的大量工件W的情况下，也存在指示激光打印的合格/不合格的大量拍摄图像Pw，因此，难以提取期望的拍摄图像Pw。

另一方面，根据上述实施例，历史存储部703a将NG判断结果与拍摄图像Pw彼此相关联地存储，从而便于提取发生打印缺陷的拍摄图像Pw。根据该实施例，通过指定显示在显示部701上的NG判断结果或与NG判断结果相对应的拍摄图像Pw，可以显示NG判断结果或与拍摄图像Pw相关联的状态信息(参见图14中的步骤S106)。结果，当打印没有被良好地进行时，用户可以从视觉上辨别状态信息，并且便于打印缺陷的诊断。也就是说，上述实施例有助于识别打印缺陷的原因。

以这种方式，根据该实施例，可以便于提取指示激光打印的合格/不合格的拍摄图像Pw并使用拍摄图像Pw识别打印缺陷的原因，并且进一步提高与打印缺陷的诊断相关的可用性。

此外，如参考图15B所述，第一显示区域Rc1的显示模式和第二显示区域Rc2的显示模式彼此连动地配置。结果，可以进一步提高诊断打印缺陷时的可用性。

此外，如参考图15B至15E等所述，可以将关于NG判断结果的拍摄图像Pw和状态信息与关于OK判断结果的拍摄图像Pw和状态信息进行比较。结果，可以更容易地提取拍摄图像Pw，并且更容易地识别打印缺陷的原因。

此外，如参考图15B至15E等所述，用户可以将经由接收部702指定的NG判断结果或与拍摄图像Pw相关联的状态信息和除了所指定的判断结果之外的判断结果(例如，OK判断结果)或与拍摄图像Pw相关联的状态信息进行比较。结果，可以进一步提高诊断打印缺陷时的可用性。

此外，如参考图15C至15E所述，用户可以从视觉上辨别作为状态信息的原因参数随时间的变化。结果，可以更容易地识别打印缺陷的原因。

此外，如参考图15C至15E所述，通过将原因参数随时间的变化显示为线形图，用户可以容易地从视觉上辨别随时间的变化。结果，可以更容易地识别打印缺陷的原因。

此外，如图16所示，根据该实施例的标记系统S可以使用打印激光的输出(激光功率)、到工件W的距离(Z跟踪)、工件W的位置(XY跟踪)和透光窗口19上的污染(窗口检查)作为原因参数。以这种方式，可以使用广泛的信息作为原因参数(状态信息)来更彻底地识别打印缺陷的原因。

此外，如图20所示，当用户发现被合格/不合格判断部105忽略的打印缺陷时，可以校正判断结果，并且可以改变显示部701的显示内容以反映该校正。结果，可以进一步提高诊断打印缺陷时的可用性。

<<其它实施例>>

在上述实施例中，使用与操作终端800分离或一体的外部终端700来配置诊断支持设备，但是本发明不限于这种配置。例如，可以使用标记器控制器100来配置诊断支持设备。在这种情况下，标记器控制器100可以实现构成诊断支持设备的所有要素，或者标记器控制器100可以仅实现一些要素。例如，在诊断支持设备的构成要素中，存储部703可以使用标记器控制器100的条件设置存储部102来配置，并且其它构成要素可以使用外部终端700来配置。

此外，在上述实施例中，根据所选择的症状(状态项)，存在不显示在显示部701上的原因参数，但是本发明不限于这种配置。例如，在针对所有原因参数设置显示优先级顺序之后，所有原因参数可以显示在显示部701上，无论所选择的症状(状态项)如何。可选地，在不设置各个原因参数的显示优先级顺序的情况下，可以仅设置显示部701上的显示或非显示。

此外，在上述实施例中，作为距离测量机构的距离测量单元5设置在壳体10内部，但是本发明不限于这种配置。距离测量机构也可以设置在壳体10的外部。

此外，在上述实施例中，作为图像获取部的同轴照相机6和全体照相机7这两者都设置在壳体10内部，但是本发明不限于这种配置。例如，作为图像获取部的全体照相机7可以设置在壳体10的外部。

此外，在上述实施例中，使用图14所示的流程描述了诊断支持方法，但是诊断支持方法的配置不限于图14所示的流程。例如，各个步骤的顺序可以改变。

具体地，在上述实施例中，在步骤S102中选择症状之后，在步骤S103中确定显示优先级顺序，但是本发明不限于这种配置。例如，可以在执行步骤S102的处理之后并且在执行步骤S103的处理之前，首先执行步骤S104和步骤S105等的处理。

此外，在上述实施例中，处理在步骤S102中选择症状之后经由步骤S103和步骤S104进入步骤S105，并且在步骤S105中指定打印缺陷发生的日期和时间，但是本发明不限于这种配置。例如，处理可以在执行步骤S104和S105之后进入步骤S101和S102。通过这种配置，用户可以在参考拍摄图像Pw和判断结果的同时选择症状。

此外，用作原因参数的状态信息的配置不限于图12的示例。可以使用图12中描述的一部分，并且可以添加图12中未描述的信息。可以添加的信息的示例包括打印之前紧挨着检测到的透光窗口19上的污染(打印前窗口监视结果)。当使用该信息时，在图11中的步骤S31至S34的任何定时执行与图11中的步骤S38相同的处理。当打印前窗口监视结果和打印后窗口监视结果相结合时，可以更详细地诊断透光窗口19上的污染。

同样地，关于作为状态信息的Z跟踪，如步骤S32中所述，可以使用校正Z方向上的未对准之前的测量值，可以使用校正未对准之后的测量值，或者可以使用校正之前和之后的测量值这两者。

此外，在上述实施例中，使用打印日志Lg在标记器控制器100和外部终端700之间发送和接收历史信息，但是本发明不限于这种配置。历史信息可以在不使用打印日志Lg的情况下实时发送和接收。

此外，在上述实施例中，显示部701被配置为在图形显示区域Rc4中一个接一个地顺次显示原因参数，但是本发明不限于这种配置。例如，可以同时显示多个原因参数。在这种情况下，例如，可以根据显示优先级顺序从顶部起按顺序显示原因参数。

此外，在上述实施例中，显示部701被配置为当指定打印缺陷发生的日期和时间时，同时显示第一显示区域Rc1和第二显示区域Rc2，但是本发明不限于这种配置。例如，显示部701可以显示第一显示区域Rc1和第二显示区域Rc2之一。

此外，在上述实施例中，显示部701被配置为在第一显示区域Rc1中显示NG判断结果和OK判断结果这两者，但是本发明不限于这种配置。显示部701可以至少显示NG判断结果。