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石墨接头机器人自动装卡簧、装栓机
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一种构件内壁ALD镀膜设备及方法
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技术分类
后处理
连续镀覆的专用设备
镀覆工艺的控制或调整
采用C23C16/503至C23C16/515的两组或更多种方法放电
采用脉冲放电
采用等离子流
采用微波放电
采用内电极
采用外电极,例如在隧道式反应器中
采用射频放电
采用直流或交流放电
借助放电的
辐射法,例如光分解、辐射分解、粒子辐射
以加热基体的方法为特征的
在反应室中支承基体的方法
向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
通过燃烧器或喷灯的反应气体法,例如在大气压下的CVD法
输入反应室前的活化反应气流法,例如通过电离或加入活性组分
产生反应气流的方法,例如通过母体材料的蒸发或升华
采用流化床法
以镀覆方法为特征的
硅化物
氧化物
硼化物
碳-氮化物
氮化物
碳化物
沉积化合物、混合物或固溶体,例如硼化物、碳化物、氮化物
仅沉积一种其他的非金属元素
仅沉积金刚石
仅沉积碳
仅沉积硅
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
仅沉积铝
自有机金属化合物
自金属羰基化合物
仅沉积一种其他的金属元素
仅沉积铝
仅沉积铬
自金属卤化物
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