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样品处理装置或方法
保护或避免样品室内部受到外界环境状况影响的手段,例如振动或电磁场
真空环境
液体环境
流体环境
热环境
建立或调节样本室所需环境条件的手段
用于误差补偿
显示或数据处理装置
非SPM的分析装置,例如,SEM,分光计或光学显微镜
用于辅助或改进扫描探针技术或设备的辅助手段,例如显示或数据处理装置
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