本发明实施例提供了一种控制系统的分析方法及装置。其中,方法包括:按照功能层次将核级冷水机组控制系统进行划分,得到多个功能单元,按照结构层次将核级冷水机组控制系统进行划分,得到多个结构单元,为各单元组合分别设置对应的故障编码,基于各功能单元的故障判定依据,为各功能单元制定其所具有的故障模式,根据最高层次的功能单元的故障模式,为最高层次的功能单元制定其所具有的故障模式的严酷度等级,根据第一数量和第二数量计算各功能单元在其所具有的各故障模式下的故障概率,生成控制系统的分析表。本发明实现了在核级冷水机组控制系统的方案研发和设计阶段,发现可能的设计缺陷与薄弱环节,从而选择更为安全可靠的设计方案。